Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Is táirge nuálaíoch é Córas Imoibreora Céim Leachtach Semicorex Epitaxy (LPE) a thairgeann feidhmíocht theirmeach den scoth, fiú próifíl theirmeach, agus greamaitheacht sciath níos fearr. Déanann a íonacht ard, friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta, agus friotaíocht creimeadh é ina rogha iontach le húsáid sa tionscal leathsheoltóra. Mar gheall ar a roghanna inoiriúnaithe agus cost-éifeachtúlacht, is táirge an-iomaíoch é sa mhargadh.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSemicorex CVD Is táirge an-mharthanach agus iontaofa é Taiscí Eipiteacsach CVD In Imoibreoir Bairille chun sraitheanna epixial a fhás ar sceallóga sliseog. Déanann a fhriotaíocht ocsaídiúcháin ard-teocht agus íonacht ard go bhfuil sé oiriúnach le húsáid sa tionscal leathsheoltóra. Déanann a phróifíl fiú teirmeach, patrún sreabhadh gáis laminach, agus cosc ar éilliú é ina rogha iontach d'fhás ciseal epixial ard-chaighdeán.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánMá theastaíonn uait susceptor graifít ardfheidhmíochta le húsáid in iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra, is é an Semicorex Silicon Epitaxial Deposition In Barrel Reactor an rogha iontach. Soláthraíonn a sciath SiC ard-íonachta agus seoltacht theirmeach eisceachtúil airíonna cosanta agus dáileadh teasa níos fearr, rud a fhágann gurb é an rogha is fearr le haghaidh feidhmíocht iontaofa agus comhsheasmhach sna timpeallachtaí is dúshlánaí fiú.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánMá theastaíonn súdóir graifíte uait a bhfuil seoltacht theirmeach eisceachtúil aige agus airíonna dáileacháin teasa, ná breathnaigh níos faide ná an Córas Eipe Bairille Téite Ionduchtach Semicorex. Soláthraíonn a sciath SiC ard-íonachta cosaint níos fearr i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach, rud a fhágann gurb é an rogha iontach é le húsáid in iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánLeis an seoltacht theirmeach eisceachtúil agus airíonna dáileacháin teasa, is é an Struchtúr Bairille Semicorex d'Imoibreoir Epitaxial Leathsheoltóra an rogha iontach le húsáid i bpróisis LPE agus iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra eile. Soláthraíonn a sciath SiC ard-íonachta cosaint níos fearr i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánMá tá tú ag lorg susceptor graifíte ardfheidhmíochta le húsáid in iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra, is é an Susceptor Bairille Grafite Brataithe Semicorex SiC an rogha iontach. Mar gheall ar a seoltacht theirmeach eisceachtúil agus a n-airíonna dáileacháin teasa, is é an rogha tosaigh é maidir le feidhmíocht iontaofa agus comhsheasmhach i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán