Is monaróir agus soláthraí tosaigh é Semicorex Susceptor MOCVD Brataithe SiC. Tá ár dtáirge deartha go speisialta do thionscail leathsheoltóra chun an ciseal epitaxial a fhás ar an sliseanna wafer. Úsáidtear an t-iompróir graifít brataithe Silicon Carbide ard-íonachta mar an lárphláta i MOCVD, le dearadh fearas nó fáinne-chruthach. Úsáidtear ár susceptor go forleathan i dtrealamh MOCVD, ag cinntiú go bhfuil teas ard agus friotaíocht creimeadh, agus cobhsaíocht mhór i dtimpeallachtaí foircneacha.
Ceann de na gnéithe is suntasaí dár Susceptor MOCVD Brataithe SiC ná go gcinntíonn sé sciath ar gach dromchla, ag seachaint feannadh. Tá friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta ag an táirge, atá cobhsaí ag teocht ard suas le 1600 ° C. Baintear an íonacht ard amach trí úsáid a bhaint as sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe ardteochta. Tá dromchla dlúth ag an táirge le cáithníní fíneáil, rud a fhágann go bhfuil sé an-resistant do chreimeadh ó imoibrithe aigéad, alcaile, salainn agus orgánacha.
Cinntíonn ár Susceptor MOCVD Brataithe SiC an patrún sreafa gáis lannach is fearr, a ráthaíonn cothromaíocht an phróifíl teirmeach. Cuidíonn sé seo le haon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí a chosc, ag cinntiú fás epitaxial ardcháilíochta ar an sliseanna wafer. Tairgeann Semicorex buntáiste praghais iomaíoch agus clúdaíonn sé go leor de mhargaí na hEorpa agus Mheiriceá. Tá ár bhfoireann tiomanta seirbhís agus tacaíocht den scoth a sholáthar do chustaiméirí. Táimid tiomanta do bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach, ag soláthar táirgí ardchaighdeáin iontaofa chun cabhrú le do ghnó fás.
Paraiméadair an tSochaid MOCVD Brataithe SiC
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Susceptor MOCVD Brataithe SiC
- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí