Cruthaítear graifít sciath TaC trí dhromchla substráit graifíte ard-íonachta a bhratú le sraith mhín de chomhdhúile tantalam trí phróiseas dílsithe um Cheimiceach Taiscí Gaile (CVD).
Is comhdhúil é tantalam carbide (TaC) atá comhdhéanta de tantalam agus carbóin. Tá seoltacht leictreach miotalach aige agus leáphointe thar a bheith ard, rud a fhágann gur ábhar ceirmeach teasfhulangach é a bhfuil cáil air as a neart, a chruas, agus a fhriotaíocht teasa agus chaitheamh. Tá buaicphointe leáphointe Tantalum Carbides thart ar 3880 ° C ag brath ar íonacht agus tá ceann de na pointí leá is airde i measc na gcomhdhénártha aige. Déanann sé seo rogha tarraingteach eile nuair a sháraíonn éilimh teochta níos airde na cumais feidhmíochta a úsáidtear i bpróisis epitaxial leathsheoltóirí cumaisc mar MOCVD agus LPE.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex TaC
|
Tionscadail |
Paraiméadair |
|
Dlús |
14.3 (gm/cm³) |
|
Astaíocht |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Cruas (HK) |
2000 |
|
Friotaíocht (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Cobhsaíocht Teirmeach |
<2500 ℃ |
|
Athrú Toise Graphite |
-10~-20um (luach tagartha) |
|
Tiús Cumhdach |
≥20um luach tipiciúil (35um ± 10um) |
|
|
|
|
Is gnáthluachanna iad seo thuas |
|