Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
|
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
|
Struchtúr |
|
FCC β céim |
|
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
|
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
|
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
|
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
|
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
|
Méid Grán |
μm |
2~10 |
|
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
|
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
|
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Is éard atá i súdairí wafer graifíte Semicorex 1x2” na comhpháirteanna iompair ardfheidhmíochta atá innealtóireacht speisialta le haghaidh sliseog 2-orlach, atá oiriúnach go maith do phróiseas epitaxial na sliseog leathsheoltóra. Roghnaigh Semicorex le haghaidh íonachta ábhar atá chun tosaigh sa tionscal, innealtóireacht bheachtais, agus iontaofacht gan mheaitseáil i dtimpeallachtaí fáis epitaxial éilitheach.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs iompróirí ardíonachta iad Plátaí Graphite Semicorex-brataithe SiC a innealtóireacht go sonrach le haghaidh dianéilimh SiC agus GaN epitaxy, ag baint úsáide as sciath dlúth Carbide Sileacain CVD ar fhoshraith grafite isostatach chun bacainn teirmeach cobhsaí, ceimiceach támh a sholáthar do phróiseáil sliseog ardtoraidh. Soláthraíonn Semicorex táirgí agus seirbhísí cáilithe do chustaiméirí domhanda.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánDéantar formhaltóirí epi-wafer Semicorex SiC déanta as graifít SiC-brataithe chun aonfhoirmeacht teirmeach eisceachtúil agus cobhsaíocht cheimiceach a sholáthar i bpróisis fáis epitaxial ardteochta. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí den chaighdeán is airde agus an tseirbhís is fearr a sholáthar do chustaiméirí ar fud an domhain. Le saineolas teicniúil láidir agus cumais déantúsaíochta iontaofa, cabhraímid le comhpháirtithe domhanda feidhmíocht chobhsaí agus luach fadtéarmach a bhaint amach.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs iad so-ghabhdóirí epitaxial atá brataithe le Semicorex SiC na comhpháirteanna riachtanacha a úsáidtear sa phróiseas fáis epitaxial leathsheoltóra chun na sliseoga leathsheoltóra a thacú agus a shocrú go cobhsaí. Ag baint úsáide as cumais déantúsaíochta aibí agus teicneolaíochtaí táirgthe úrscothacha, tá Semicorex tiomanta do sholáthraithe epitaxial atá brataithe le SiC cáilíochta agus ar phraghas iomaíoch a sholáthar dár gcustaiméirí luachmhar.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs iad súdairí MOCVD graifíte SiC-brataithe na comhpháirteanna riachtanacha a úsáidtear i dtrealamh sil-leagan ceimiceach gaile miotail-orgánach (MOCVD), atá freagrach as foshraitheanna sliseog a shealbhú agus a théamh. De bharr a mbainistíocht theirmeach níos fearr, friotaíocht ceimiceach, agus cobhsaíocht tríthoiseach, meastar go bhfuil susceptóirí MOCVD graifíte SiC-brataithe mar an rogha is fearr le haghaidh epitaxy substráit wafer ardcháilíochta.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs cuid leathsheoltóra ceannródaíoch é tráidire graifíte brataithe SiC a thugann rialú teochta beacht agus tacaíocht chobhsaí d'fhoshraitheanna Si le linn an phróisis fáis epitaxial sileacain. Tugann Semicorex ardtosaíocht i gcónaí d’éileamh na gcustaiméirí, ag soláthar réitigh lárnacha do chustaiméirí atá riachtanach chun leathsheoltóirí ardchaighdeáin a tháirgeadh.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán