Le linn próiseála, ní mór sliseog leathsheoltóra a théamh i bhfoirnéisí speisialaithe. Cuimsíonn an t-imoibreoir feadáin fhadaithe, sorcóireacha, ina bhfuil sliseog suite ar na báid sliseog ag réamhchinnte, comhfhad. déantar gléasanna eile a úsáidtear i bpróiseáil sliseog as ábhar mar chomhdhúile sileacain (SiC).
Tá na báid, atá luchtaithe le baisc de sliseog le próiseáil, suite ar stuáil fhada cantilevered, trína bhféadfar iad a chur isteach sna foirnéisí feadánacha agus na himoibreoirí agus iad a tharraingt siar uathu. Áirítear ar na paddles cuid iompróra leacaithe ar a bhféadfar bád amháin nó níos mó a shuíomh, agus hanla fada, suite ag foirceann amháin den chuid iompróra leacaithe, trínar féidir an stuáil a láimhseáil.
Moltar paddle Cantilever le húsáid chomhdhúile sileacain athchriostalaithe le sraith tanaí CVD SiC, a bhfuil ard-íonacht agus rogha is fearr do na comhpháirteanna i bpróiseáil leathsheoltóra.
Is féidir le Semicorex seirbhís shaincheaptha a sholáthar de réir na líníochtaí agus na timpeallachta oibre.
Semicorex SiC (Carbide Sileacain) Is comhpháirt ríthábhachtach é Paddle Cantilever a úsáidtear i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe i bhfoirnéisí idirleata nó LPCVD (Sistiúchán Gaile Ceimiceach Ísealbhrú) le linn próisis amhail idirleathadh agus RTP (Próiseáil Mear Teirmeach). Tá an SiC Cantilever Paddle chun sliseoga leathsheoltóra a iompar go daingean laistigh den fheadán próisis le linn próisis ardteochta éagsúla ar nós idirleathadh agus RTP. Freastalaíonn sé ar mhaithe le sliseoga a thacú agus a iompar laistigh d'fheadán próisis na bhfoirnéisí seo. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirt speisialaithe é paddle cantilever chomhdhúile sileacain Semicorex a úsáidtear i bhfoirnéisí le haghaidh feidhmeanna próiseála teirmeach éagsúla. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánFórsa luchtaithe wafer mór chomhdhúile sileacain Tá stuáil cantilever ceirmeach SiC oiriúnach do chóras uathoibríoch luchtaithe agus láimhseála robot toisc go bhfuil feidhmíocht chobhsaí aige, neamh-dhífhoirmiú i dteocht ard agus fórsa luchtaithe mór wafer. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán