Paddles SiC

Is iad paddles Semicorex SiC na "iompróirí" sliseog a thógann sliseog isteach i bhfoirnéisí níos teo ná 1000 céim Celsius. Is é seo a bpríomhbhuntáiste: ard-íonacht, cobhsaíocht ardteochta, chun rigidity meicniúil a choinneáil agus an sampla á iompar i dtimpeallachtaí foircneacha. Tá ábhair ard-íonachta éifeachtach chun neamhíonachtaí miotail a dhícheadú ó éilliú a dhéanamh ar an wafer; mar sin freisin a dhéanann cobhsaíocht teocht ardchomhdhúile sileacain, toisc go gcoimeádfaidh sé cobhsaíocht cheimiceach ag teochtaí próiseála a chuireann cosc ​​ar eisíontais mhiotail nó ar cháithníní a éilliú ó éilliú, rud a chinnteoidh toradh cobhsaí wafer. Ar deireadh,paddles cantilevercomhoiriúnach freisin le córais aistrithe sliseog chomhtháite, ag laghdú tuilleadh an spleáchais ar dhaoine agus ag méadú tréchur.

Is comhpháirt uathúil den iompróir iad na Paddles SiC, go sonrach le haghaidh iompar agus comhtháthú wafer leathsheoltóra isteach i mbaisc ualach oibre i bpróisis cosúil le ocsaídiú agus idirleathadh ardteochta, i measc daoine eile. Déanta le íonacht ardcairbíd sileacain (SIC), soláthraíonn na Paddles SiC cobhsaíocht theirmeach, neart meicniúil agus marthanacht cheimiceach chun iompar cobhsaí os cionn teocht 1000 ° C a chinntiú. Tá na Paddles SiC ag teastáil le haghaidh próiseála wafer: cinnteoidh sé gur féidir foshraitheanna leochaileacha a láimhseáil go cuí agus sláine agus comhsheasmhacht a choinneáil ar feadh an phróisis ocsaídiúcháin, idirleata agus annealaithe.

Deartha le bheith láidir agus iontaofa, is lámh de chineál cantilever iad na Paddles SiC a choinníonn báid sliseog nó stoic sliseog. Tacaíonn an paddle le sliseog agus iad á gcur isteach nó á mbaint amach as an seomra próisis. Teipeann ar ábhair thraidisiúnta ag na teochtaí arda seo trí dhífhoirmiú, warping, nó díghrádú ceimiceach. Ligeann cobhsaíocht mheicniúil agus sláine struchtúrach chomhdhúile sileacain don stuáil maireachtáil i dtimthriallta teirmeacha iolracha gan cruth nó feidhm a chailleadh. Tá an cumas seo tábhachtach chun ailíniú na foirnéise a chothabháil, ag cinntiú nach ndéantar damáiste do na sliseog le linn an phróisis, agus chun aga neamhfhónaimh costasach a íoslaghdú.

Comhlánaítear cobhsaíocht theirmeach na SiC Paddles lena fhriotaíocht cheimiceach den scoth ar gháis imoibríocha a léirítear de ghnáth i bpróisis ocsaídiúcháin agus idirleata (m.sh. ocsaigin, clóirín, agus speicis ionsaitheach eile ag teocht ard). Scriosfar nó éilleofar go leor ábhar nuair a nochtar iad do theocht ard agus ocsaigin. Tá cairbíd sileacain támh go ceimiceach agus cinntíonn a micreastruchtúr dlúth nach dtarlóidh imoibrithe ceimiceacha, ag soláthar sláine struchtúrach paddle agus timpeallacht ghlan don wafer. Coinnítear an riosca éillithe dá bharr chomh híseal agus is féidir do mhonaróirí leathsheoltóra a oibríonn ag cuid de na nóid phróisis is airde ar féidir le riandúile éillithe athruithe suntasacha ar fheidhmíocht na ngléasanna a spreagadh ina leith.

Soláthraíonn an sláine mheicniúil a bhaineann leis na SiC Paddles luach freisin i bpróisis láimhseála. Teastaíonn ábhar ón bhfoirm struchtúrach cantilever atá in ann meáchain na gcruach sraitheanna a sheasamh agus nach ndéanann sé flex nó sag. Mar gheall ar mhodal an-ard agus cruas an-ard de chomhdhúile sileacain is comaoin mhaith é maidir leis an bhfeidhm struchtúrach meicniúil atá ag teastáil. Coinníonn an Paddle SiC maoile agus struchtúr araon, fiú luchtaithe le sliseog. Ciallaíonn sé seo rialú leanúnach ar an bhfoirnéis agus a coinníollacha le linn tréimhsí fada táirgthe.