Paddle Cantilever SiC Ardíonachta

Déantar paddle cantilever SiC ardíonachta Semicorex agCeirmeacht Silicon Carbide, go ginearálta an SiSiC. Is SiC é a tháirgtear trí phróiseas insíothlú sileacain, próiseas a thugannceirmeacha chomhdhúile sileacainábhair neart agus feidhmíocht níos fearr. Tá an paddle cantilever SiC ard-íonachta ainmnithe ag a chruth, tá sé stiallacha fada, le lucht leanúna taobh. Tá an cruth deartha chun tacú le báid wafer cothrománach i bhfoirnéis teocht ard.

Úsáidtear é go príomha i ocsaídiú, idirleathadh, RTA/RTP sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra. Mar sin is é an t-atmaisféar ocsaigin (gás imoibríoch), nítrigin (gás sciath), agus méid beag clóiríd hidrigine. Tá an teocht thart ar 1250°C. Mar sin is timpeallacht ocsaídiúcháin ardteochta é. Tá sé a cheangal ar an chuid sa timpeallacht seo resistant ocsaídiúcháin agus is féidir seasamh faoi teocht ard.

Déantar paddle cantilever SiC ard-íonachta Semicorex trí phriontáil 3D, mar sin is múnlú aon-phíosa é, agus is féidir leis na ceanglais ard maidir le méid agus próiseáil a chomhlíonadh. Déanfaidh 2 chuid an paddle cantilever, an comhlacht agus a sciath, is féidir le Semicorex an t-ábhar eisíontais a sholáthar <300pm don chorp, agus <5ppm don sciath CVD SiC. Mar sin tá an dromchla íonachta ultra-ard chun cosc ​​a chur ar neamhíonachtaí agus ábhar salaithe a thabhairt isteach. Chomh maith leis sin an t-ábhar le friotaíocht turraing teirmeach ard, chun fanacht ar an cruth i saolré fada.

Déanann Semicorex próiseas bealaigh déantúsaíochta an-luachmhar. Maidir leis an gcomhlacht SiC, ullmhaímid an t-amhábhar ar dtús agus déanaimid an púdar SiC a mheascadh, ansin déan an múnlú agus an meaisínithe go dtí an cruth deiridh, ina dhiaidh sin déanfaimid an chuid a shintéiriú chun an dlús agus go leor airíonna ceimiceacha a fheabhsú. Tá an príomhchorp déanta agus déanfaimid iniúchadh ar an gceirmeach féin agus chun an riachtanas toise a chomhlíonadh. Tar éis sin déanfaimid an glanadh tábhachtach. Cuir an paddle cantilever cáilithe isteach sa trealamh ultrasonaic le haghaidh glanadh chun deannach, ola ar an dromchla a bhaint. Tar éis é a ghlanadh, cuir an paddle cantilever SiC ardíonachta isteach in oigheann thriomú agus bácáil ag 80-120 ° C é ar feadh 4-6 huaire go dtí go mbeidh an t-uisce triomaithe.

Ansin is féidir linn sciath CVD a dhéanamh ar an gcomhlacht.Is é an teocht sciath 1200-1500 ℃, agus roghnaítear cuar teasa oiriúnach. Ag teocht ard, imoibríonn an fhoinse sileacain agus an fhoinse carbóin go ceimiceach chun cáithníní SiC nana-scála a ghiniúint. Déantar na cáithníní SiC a thaisceadh go leanúnach ar dhromchla an

cuid chun sraith dhlúth tanaí de SiC a dhéanamh. Is é an tiús sciath go ginearálta 100 ± 20μm. Tar éis críochnú, eagrófar iniúchadh deiridh na dtáirgí, le haghaidh cuma, íonachta agus toisí táirgí, etc.