Cruthaítear graifít sciath TaC trí dhromchla substráit graifíte ard-íonachta a bhratú le sraith mhín de chomhdhúile tantalam trí phróiseas dílsithe um Cheimiceach Taiscí Gaile (CVD).
Is comhdhúil é tantalam carbide (TaC) atá comhdhéanta de tantalam agus carbóin. Tá seoltacht leictreach miotalach aige agus leáphointe thar a bheith ard, rud a fhágann gur ábhar ceirmeach teasfhulangach é a bhfuil cáil air as a neart, a chruas, agus a fhriotaíocht teasa agus chaitheamh. Tá buaicphointe leáphointe Tantalum Carbides thart ar 3880 ° C ag brath ar íonacht agus tá ceann de na pointí leá is airde i measc na gcomhdhénártha aige. Déanann sé seo rogha tarraingteach eile nuair a sháraíonn éilimh teochta níos airde na cumais feidhmíochta a úsáidtear i bpróisis epitaxial leathsheoltóirí cumaisc mar MOCVD agus LPE.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex TaC
Tionscadail |
Paraiméadair |
Dlús |
14.3 (gm/cm³) |
Astaíocht |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Cruas (HK) |
2000 |
Friotaíocht (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Cobhsaíocht Teirmeach |
<2500 ℃ |
Athrú Toise Graphite |
-10~-20um (luach tagartha) |
Tiús Cumhdach |
≥20um luach tipiciúil (35um ± 10um) |
|
|
Is gnáthluachanna iad seo thuas |
|
Is comhpháirt ardfheidhmíochta é Semicorex TaC Brataithe Graphite Chuck atá deartha le haghaidh láimhseáil beachta wafer agus próisis ardteochta i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Roghnaigh Semicorex as a chuid táirgí nuálacha, marthanacha a áirithíonn an fheidhmíocht is fearr agus an fad saoil in iarratais leathsheoltóra éilitheacha.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirt ardfheidhmíochta é fáinne Semicorex TaC atá deartha le haghaidh fás criostail aonair SiC, ag cinntiú dáileadh sreabhadh gáis is fearr agus rialú teochta. Roghnaigh Semicorex as ár saineolas ar ard-ábhar agus innealtóireacht bheachtais, ag soláthar réitigh mharthanacha agus iontaofa a fheabhsaíonn éifeachtúlacht agus cáilíocht do phróisis leathsheoltóra.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirt graifíte atá brataithe le TaC é Cuid Carbide Tantalum Semicorex atá deartha le haghaidh úsáide ardfheidhmíochta in iarratais fáis criostail chomhdhúile sileacain (SiC), ag tairiscint teocht den scoth agus friotaíocht ceimiceach. Roghnaigh Semicorex le haghaidh comhpháirteanna iontaofa ardcháilíochta a fheabhsaíonn cáilíocht chriostail agus éifeachtúlacht táirgthe i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirteanna ríthábhachtacha iad fáinní Semicorex Tantalum Carbide a úsáidtear i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra chun cinn. Ar a dtugtar as a gcruas eisceachtúil, a leáphointe ard, agus a táimhe ceimiceach, Ag Semicorex, táimid tiomanta do tháirgí a sheachadadh a chomhlíonann na caighdeáin is airde cáilíochta agus feidhmíochta, ag cinntiú go bhfanann ár gcliaint ar thús cadhnaíochta nuálaíochta sa tionscal leathsheoltóra.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs tráidire graifíte é Susceptor Wafer Cumhdach Semicorex TaC atá brataithe le carbíd tantalam, a úsáidtear i bhfás epitaxial chomhdhúile sileacain chun cáilíocht agus feidhmíocht sliseog a fheabhsú. Roghnaigh Semicorex as a ardteicneolaíocht brataithe agus réitigh mharthanacha a áirithíonn torthaí epitaxy SiC níos fearr agus saolré sínte an susceptra.*
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs fáinne graifíte iad Fáinní Treorach Cumhdach TaC le sciath chomhdhúile tantalam, atá deartha le húsáid i bhfoirnéisí fáis criostail chomhdhúile sileacain chun cáilíocht criostail a fheabhsú. Roghnaigh Semicorex as a ardteicneolaíocht brataithe, a chinntíonn marthanacht níos fearr, cobhsaíocht theirmeach, agus feidhmíocht fáis criostail optamaithe.*
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán