Pláta Pláinéadach Brataithe TaC

Feidhmíonn an Pláta Pláinéadach Brataithe Semicorex TaC mar phríomh-chomhpháirt laistigh d’imoibreoirí MOCVD, ag taispeáint dearadh pláinéadach arb iad is sainairíonna é go leor pócaí sliseog socraithe feadh a dhromchla. Cruthaítear na pócaí seo go sonrach chun freastal go hiontaofa ar na sliseog le linn chéim fáis aon chiseal epitaxial, ag cobhsú sliseog an tsubstráit agus ag íoslaghdú gluaiseacht an tsubstráit faoi theocht próisis ardaithe. Soláthraíonn an geoiméadracht phóca cruinn socrúchán comhsheasmhach wafer atá tábhachtach le haghaidh tiús aonfhoirmeach na sraitheanna epitaxial agus leibhéil aonfhoirmeachta lochtanna tsubstráit do gach sliseog a fhástar le linn an phróisis chéanna.

Gné dearaidh thábhachtach den phláta pláinéadach, arís eile, is ea scaipeadh innealtóireachta na bpoll sreafa gáis fíneáil ar feadh dhromchla an phláta. Tá na poill seo deartha go cúramach agus suite go straitéiseach go sonrach chun sreabhadh na ngás réamhtheachtaithe san imoibreoir a mhéadrú, agus mar sin baintear scaipeadh aonfhoirmeach gáis agus fiú sil-leagan amach i measc gach sliseog. In aon phróiseas MOCVD, tá gnéithe de dhinimic gáis ríthábhachtach chun cáilíochtaí scannáin, aonfhoirmeacht tiús, agus feidhmíocht iomlán gléas a chinneadh. An dearadh poll optamaithe ar anTaC BrataitheCinntíonn Pláta Pláinéadach go mbíonn na coinníollacha próisis céanna ag gach sliseog, rud a sholáthraíonn an bealach is fearr chun táirgeacht agus in-atáirgtheacht a fheabhsú.

Tá anCumhdach TaC (chomhdhúile tantalam).leathnaíonn sé feidhmíocht agus saol an phláta pláinéadach tuilleadh. Tá cairbíd tantalam thar a bheith crua, támh go ceimiceach agus seoltach go teirmeach, rud a fhágann gur sciath sármhaith é do thimpeallachtaí foircneacha MOCVD. Le linn epitaxy, tiocfaidh na comhpháirteanna san imoibreoir ar theocht ard, ar gháis réamhtheachtaithe imoibríocha, agus ar nochtadh plasma. Feidhmíonn an sciath TaC mar bhac láidir ar chreimeadh, ocsaídiú, agus giniúint cáithníní chun síneadh suntasach a dhéanamh ar shaolré an phláta pláinéadach ná pláta neamhbhrataithe nó gnáth-brataithe.

Mar gheall ar fhad saoil agus marthanacht an Phláta Pláinéadach Brataithe le TaC is rogha éifeachtach ó thaobh costais é do chórais MOCVD. Is féidir leis an gciseal Marthanach TaC a sheasamh timthriall teirmeach arís agus arís eile agus nochtadh do gháis phróisis foircneacha agus sláine struchtúrach agus cobhsaíocht feidhmíochta a chothabháil agus é ag feidhmiú thar tréimhsí ama sínte.