Susceptor Brataithe CVD TaC

I gcóras MOCVD, is é an susceptor an t-ardán lárnach ar a gcuirtear na sliseog le linn fáis epitaxial. Tá sé ríthábhachtach go gcoimeádtar rialú teochta cruinn, cobhsaíocht cheimiceach agus cobhsaíocht mheicniúil i ngás imoibríocha ag teochtaí os cionn 1200 °C. Tá an súdóir brataithe Semicorex CVD TaC in ann é sin a bhaint amach trí fhoshraith graifíte innealtóireacht a chomhcheangal le dlúth, aonfhoirmeacha dhéantar trí thaisceadh gaile ceimiceach (CVD).a dhéantar trí thaisceadh gaile ceimiceach (CVD).

Áirítear le cáilíocht TaC a chruas eisceachtúil, friotaíocht creimeadh, agus cobhsaíocht theirmeach. Tá leáphointe níos mó ná 3800 °C ag TaC, agus mar sin tá sé ar cheann de na hábhair is resistant teochta inniu, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in imoibreoirí MOCVD, w

ith réamhtheachtaithe a d'fhéadfadh a bheith i bhfad níos teo agus an-chreimneach. Tá anCumhdach CVD TaCcuireann sé bacainn chosanta ar fáil idir an susceptor graifíte agus gáis imoibríocha, mar shampla, amóinia (NH₃), agus réamhtheachtaithe an-imoibríocha miotail-orgánacha. Coscann an sciath díghrádú ceimiceach an tsubstráit graifíte, foirmiú cáithníní sa timpeallacht taisce, agus idirleathadh neamhíonachtaí isteach sna scannáin thaisce. Tá na gníomhartha seo ríthábhachtach do scannáin ardcháilíochta epitaxial, toisc go bhféadfadh tionchar a bheith acu ar cháilíocht scannán.

Is comhpháirteanna ríthábhachtacha iad so-ghabhdóirí wafer maidir le hullmhú sliseog agus fás epitaxial leathsheoltóirí Aicme III, mar SiC, AlN, agus GaN. Tá formhór na n-iompróirí sliseog déanta as graifít agus brataithe le SiC chun iad a chosaint ar chreimeadh ó gháis phróisis. Tá teochtaí fáis epitaxial sa raon ó 1100 go 1600 ° C, agus tá friotaíocht creimeadh an sciath chosanta ríthábhachtach do fhad saoil an iompróra wafer. Léiríonn taighde go creimeann TaC sé huaire níos moille ná SiC in amóinia ardteochta agus breis agus deich n-uaire níos moille i hidrigin ardteochta.

Tá sé léirithe ag turgnaimh go léiríonn iompróirí atá brataithe le TaC comhoiriúnacht den scoth i bpróiseas gorm GaN MOCVD gan neamhíonachtaí a thabhairt isteach. Le coigeartuithe próiseas teoranta, taispeánann soilse a fhástar ag baint úsáide as iompróirí TaC feidhmíocht agus aonfhoirmeacht atá inchomparáide leo siúd a fhástar ag baint úsáide as gnáthiompróirí SiC. Mar sin, tá saolré níos faide ag iompróirí atá brataithe le TaC ná mar a bhíonn iompróirí grafite lom agus iompróirí graifíte SiC-brataithe.

Ag baint úsáide asbratuithe cairbíde tantalam (TaC).aghaidh a thabhairt ar lochtanna imeall criostail agus feabhas a chur ar cháilíocht fáis criostail, rud a fhágann go bhfuil sé ina chroí-theicneolaíocht chun "fás níos tapúla, níos tiús agus níos faide" a bhaint amach. Tá sé léirithe ag taighde tionscail freisin gur féidir le breogáin graifíte atá brataithe le carbíd tantalam téamh níos comhionainne a bhaint amach, rud a chuireann rialú próisis den scoth ar fáil d’fhás criostail aonair SiC, rud a laghdódh go mór an dóchúlacht go gcruthófar polacriostalach ar imeall na criostail SiC.

Is é an toradh a bhíonn ar mhodh sil-leagain ciseal CVD de TaC ná sciath an-dlúth agus greamaitheach. Tá CVD TaC nasctha go móilíneach leis an tsubstráit, i gcodarsnacht le bratuithe spraeáilte  nó sintéaraithe, as a mbeadh an sciath faoi réir dílamination. Aistríonn sé seo go greamaitheacht níos fearr, bailchríoch dromchla réidh, agus sláine ard. Seasfaidh an sciath creimeadh, scoilteadh agus feannadh fiú agus é á thimthriall go teirmeach arís agus arís eile i dtimpeallacht próisis ionsaitheach. Éascaíonn sé seo saol seirbhíse níos faide don susceptor agus costais chothabhála agus athsholáthair laghdaithe.

Is féidir an Susceptor Brataithe CVD TaC a shaincheapadh chun freastal ar raon cumraíochtaí imoibreora MOCVD, lena n-áirítear córais chothrománacha, ingearacha agus phláinéideacha.  Áirítear ar shaincheapadh tiús sciath, ábhar tsubstráit, agus céimseata, rud a ligeann do bharrfheabhsú ag brath ar choinníollacha an phróisis.  Cibé acu le haghaidh GaN, AlGaN, InGaN nó le haghaidh ábhair leathsheoltóra cumaisc eile, soláthraíonn an susceptor feidhmíocht chobhsaí agus in-athdhéanta, agus tá an dá cheann riachtanach do phróiseáil gléas ardfheidhmíochta.

Tugann an sciath TaC níos mó marthanachta agus íonachta, ach neartaíonn sé freisin airíonna meicniúla an susceptor le friotaíocht le dífhoirmiúchán teirmeach ó strus teirmeach arís agus arís eile. Cinntíonn na hairíonna meicniúla tacaíocht sliseog marthanach agus cothromaíocht rothlach le linn tréimhsí fada sil-leagain.  Ina theannta sin, éascaíonn an feabhsúchán atáirgeadh comhsheasmhach agus aga fónaimh trealaimh.