Susceptor SiC do MOCVD

Is monaróir agus soláthraí tosaigh SiC Susceptor do MOCVD é Semicorex. Tá ár dtáirge deartha go speisialta chun freastal ar riachtanais an tionscail leathsheoltóra agus an ciseal epitaxial ag fás ar an sliseanna wafer. Úsáidtear an táirge mar lárphláta i MOCVD, le dearadh fearas nó fáinne-chruthach. Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh aige, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid i dtimpeallachtaí foircneacha.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Is táirge ardchaighdeáin é ár Susceptor SiC do MOCVD a bhfuil roinnt príomhghnéithe aige. Cinntíonn sé sciath ar gach dromchla, seachnaíonn sé scamhadh, agus tá friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta aige, rud a chinntíonn cobhsaíocht fiú ag teochtaí arda suas le 1600 ° C. Déantar an táirge le íonacht ard trí thaisceadh gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe ardteochta. Tá dromchla dlúth aige le cáithníní fíneáil, rud a fhágann go bhfuil sé an-resistant a chreimeadh ó imoibrithe aigéad, alcaile, salainn agus orgánacha.
Tá ár Susceptor SiC do MOCVD deartha chun an patrún sreafa gáis lannach is fearr a ráthú, ag cinntiú go bhfuil próifíl theirmeach cothrom. Coscann sé aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí, ag cinntiú fás epitaxial ard-chaighdeán ar an sliseanna wafer.

Paraiméadair Susceptor SiC do MOCVD

Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC
Airíonna SiC-CVD
Struchtúr Criostail	FCC β céim
Dlús	g/cm³	3.21
Cruas	Vickers cruas	2500
Méid Grán	μm	2~10
Íonacht Cheimiceach	%	99.99995
Cumas Teasa	J kg- 1 K-1	640
Teocht sublimation	℃	2700
Neart Felexural	MPa (RT 4 phointe)	415
Modal Óg	Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃)	430
Leathnú Teirmeach (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Seoltacht theirmeach	(W/mK)	300

Gnéithe de Susceptor SiC do MOCVD

- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí