Susceptor Graifíte Cumhdach Sileacain Carbide do MOCVD

Is soláthraí iontaofa é Semicorex agus monaróir soláthróir graifíte sciath chomhdhúile sileacain do MOCVD. Tá ár dtáirge deartha go speisialta chun freastal ar riachtanais an tionscail leathsheoltóra agus an ciseal epitaxial ag fás ar an sliseanna wafer. Úsáidtear an táirge mar lárphláta i MOCVD, le dearadh fearas nó fáinne-chruthach. Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh aige, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid i dtimpeallachtaí foircneacha.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Tá roinnt príomhghnéithe ag ár susceptor graifíte sciath chomhdhúile sileacain do MOCVD a fhágann go bhfuil sé seasamh amach ón gcomórtas. Cinntíonn sé sciath ar gach dromchla, seachnaíonn sé scamhadh, agus tá friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta aige, rud a chinntíonn cobhsaíocht fiú ag teochtaí arda suas le 1600 ° C. Déantar an táirge le íonacht ard trí thaisceadh gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe ardteochta. Tá dromchla dlúth aige le cáithníní fíneáil, rud a fhágann go bhfuil sé an-resistant a chreimeadh ó imoibrithe aigéad, alcaile, salainn agus orgánacha.
Tá ár gcumhdóir graifíte sciath chomhdhúile sileacain do MOCVD deartha chun an patrún sreafa gáis laminar is fearr a bhaint amach, ag cinntiú go bhfuil próifíl theirmeach cothrom. Coscann sé aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí, ag cinntiú fás epitaxial ard-chaighdeán ar an sliseanna wafer.

Paraiméadair Susceptor Graifíte Cumhdach Sileacain Carbide do MOCVD

Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC
Airíonna SiC-CVD
Struchtúr Criostail	FCC β céim
Dlús	g/cm³	3.21
Cruas	Vickers cruas	2500
Méid Grán	μm	2~10
Íonacht Cheimiceach	%	99.99995
Cumas Teasa	J kg- 1 K-1	640
Teocht sublimation	℃	2700
Neart Felexural	MPa (RT 4 phointe)	415
Modal Óg	Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃)	430
Leathnú Teirmeach (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Seoltacht theirmeach	(W/mK)	300

Gnéithe de Susceptor Graphite Cumhdach Silicon Carbide do MOCVD

- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí