Is soláthraí agus monaróir tosaigh MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth é Semicorex. Úsáidtear ár dtáirge go forleathan i dtionscail leathsheoltóra, go háirithe i bhfás na ciseal epitaxial ar an sliseanna wafer. Tá ár susceptor deartha le húsáid mar lárphláta i MOCVD, le dearadh fearas nó fáinne-chruthach. Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh ag an táirge, rud a fhágann go bhfuil sé cobhsaí i dtimpeallachtaí foircneacha.
Is é ceann de na buntáistí a bhaineann lenár n-Amhraí MOCVD le haghaidh Fáis Epitaxial ná a chumas sciath a chinntiú ar gach dromchla, ag seachaint feannadh. Tá friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta ag an táirge, rud a chinntíonn cobhsaíocht ag teocht ard suas le 1600 ° C. Baintear amach ardíonacht ár dtáirge trí thaisceadh gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe ardteochta. Cinntíonn an dromchla dlúth le cáithníní fíneáil go bhfuil an táirge an-resistant a chreimeadh ó aigéad, alcaile, salann, agus imoibrithe orgánacha.
Tá ár MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth deartha chun an patrún sreafa gáis laminar is fearr a bhaint amach, ag cinntiú go bhfuil próifíl teirmeach cothrom. Cuidíonn sé seo le haon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí a chosc, ag cinntiú fás epitaxial ardcháilíochta ar an sliseanna wafer.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár Susceptor MOCVD le haghaidh Fáis Eipidaxial.
Paraiméadair MOCVD Susceptor le haghaidh Fáis Eipidaxial
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de chuid MOCVD Susceptor for Epitaxial Grow
- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí