Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Tá Tráidire Iompróir Eitseála PSS Semicorex le haghaidh Próiseáil Wafer deartha go sonrach le haghaidh feidhmchláir éilitheacha trealaimh epitaxy. Tá ár n-iompróir graifíte ultra-íon oiriúnach do chéimeanna taiscí scannáin thanaí cosúil le MOCVD, susceptors epitaxy, ardáin pancóg nó satailíte, agus próiseáil láimhseála sliseog mar eitseáil. Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh, airíonna dáileadh teasa den scoth, agus seoltacht ard teirmeach ag an Tráidire Iompróir Eitseála PSS le haghaidh Próiseáil Wafer. Tá ár gcuid táirgí éifeachtach ó thaobh costais agus tá buntáiste praghais maith acu. Freastalaímid ar go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánAg Semicorex, tá Tráidire Iompróir Eitseála PSS deartha againn le haghaidh LED go sonrach do na timpeallachtaí crua a theastaíonn le haghaidh fáis epitaxial agus próisis láimhseála sliseog. Tá ár n-iompróir graifíte ultra-íon oiriúnach do chéimeanna taiscí scannáin thanaí cosúil le MOCVD, susceptors epitaxy, ardáin pancóg nó satailíte, agus próiseáil láimhseála sliseog mar eitseáil. Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh ag an iompróir brataithe SiC, airíonna dáileadh teasa den scoth, agus seoltacht ard teirmeach. Tá ár Tráidire Iompróir Eitseála PSS le haghaidh LED éifeachtach ó thaobh costais agus cuireann sé buntáiste praghais maith ar fáil. Freastalaímid ar go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánDéantar Pláta Iompróir Eitseála Semicorex PSS le haghaidh Leathsheoltóra a innealtóireacht go speisialta do thimpeallachtaí glantacháin ceimiceacha ardteochta agus crua a theastaíonn le haghaidh fáis epitaxial agus próisis láimhseála sliseog. Tá ár bPláta Iompróir Eitseála PSS ultra-íon le haghaidh Leathsheoltóra deartha chun tacú le sliseoga le linn céimeanna sil-scannáin tanaí ar nós MOCVD agus susceptors epitaxy, pancóg nó ardáin satailíte. Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh ag ár n-iompróir brataithe SiC, airíonna dáileadh teasa den scoth, agus seoltacht teirmeach ard. Soláthraímid réitigh éifeachtach ó thaobh costais dár gcustaiméirí, agus clúdaíonn ár dtáirgí go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Tá Semicorex ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánCaithfidh iompróirí wafer a úsáidtear i bhfás epixial agus i bpróiseáil láimhseála sliseog teocht ard agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh. Iompróir Eitseála PSS Brataithe Semicorex SiC a ndearnadh innealtóireacht shonrach air do na feidhmchláir éilitheacha trealaimh eiteaxy seo. Tá buntáiste praghais maith ag ár gcuid táirgí agus clúdaíonn siad go leor de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs táirge ardfheidhmíochta é Susceptor Bairille Brataithe Semicorex SiC le haghaidh LPE Epitaxial Growth atá deartha chun feidhmíocht chomhsheasmhach agus iontaofa a sholáthar thar thréimhse fhada. Mar gheall ar a phróifíl fiú teirmeach, a phatrún sreabhadh gáis laminar, agus cosc ar éilliú, is rogha iontach é chun sraitheanna epitaxial ardcháilíochta a fhás ar sceallóga wafer. Mar gheall ar a shaincheapadh agus a éifeachtúlacht costais is táirge an-iomaíoch é sa mhargadh.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs táirge ardchaighdeáin é Córas Epi Susceptor Bairille Semicorex a thairgeann greamaitheacht sciath níos fearr, ard-íonacht, agus friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta. Mar gheall ar a phróifíl fiú teirmeach, patrún sreabhadh gáis laminar, agus cosc ar éilliú, is rogha iontach é chun sraitheanna epixial a fhás ar sceallóga wafer. Mar gheall ar a chostéifeachtúlacht agus a shaincheapadh is táirge an-iomaíoch é sa mhargadh.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán