Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Ag lorg iompróir wafer iontaofa le haghaidh próisis eitseála? Ná breathnú níos faide ná Iompróir Eitseála ICP Silicon Carbide Semicorex. Déantar ár dtáirge a innealtóireacht chun teocht ard agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh, ag cinntiú marthanacht agus fad saoil. Le dromchla glan agus réidh, tá ár n-iompróir foirfe chun sliseoga pristine a láimhseáil.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs é Pláta SiC Semicorex do Phróiseas Eitseála ICP an réiteach foirfe do riachtanais phróiseála ceimiceach ardteochta agus crua i sil-leagan scannán tanaí agus láimhseáil sliseog. Bródúil as ár dtáirge friotaíocht teasa níos fearr agus fiú aonfhoirmeacht teirmeach, ag cinntiú tiús ciseal epi comhsheasmhach agus friotaíocht. Le dromchla glan agus mín, soláthraíonn ár sciath criostail SiC ard-íonachta an láimhseáil is fearr le haghaidh sliseog pristine.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIompróir Eitseála ICP Brataithe Semicorex SiC innealtóireacht go sonrach le haghaidh trealamh epitaxy a bhfuil ard-teas agus friotaíocht creimeadh sa tSín. Tá buntáiste praghais maith ag ár gcuid táirgí agus clúdaíonn siad go leor de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánDéantar Sealbhóir Iompróir Eitseála Semicorex do PSS Etching a innealtóireacht do na feidhmchláir trealaimh epitaxy is déine. Is féidir lenár n-iompróir graifíte ultra-íon timpeallachtaí crua, teocht ard, agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh. Tá airíonna dáileadh teasa den scoth ag an iompróir brataithe SiC, seoltacht ard teirmeach, agus tá sé éifeachtach ó thaobh costais. Úsáidtear ár gcuid táirgí go forleathan i go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá, agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánDéantar Iompróir Láimhseála PSS Semicorex le haghaidh Aistriú Wafer a innealtóireacht do na hiarratais trealaimh epitaxy is déine. Is féidir lenár n-iompróir graifíte ultra-íon timpeallachtaí crua, teocht ard, agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh. Tá airíonna dáileadh teasa den scoth ag an iompróir brataithe SiC, seoltacht ard teirmeach, agus tá sé éifeachtach ó thaobh costais. Úsáidtear ár gcuid táirgí go forleathan i go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá, agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs iompróir graifít ultra-íon ardchaighdeáin é Pláta Silicon Etch Semicorex le haghaidh Feidhmchláir Eitseála PSS atá deartha go sonrach le haghaidh fáis epitaxial agus próisis láimhseála wafer. Is féidir lenár n-iompróir timpeallachtaí crua, teocht ard, agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh. Tá airíonna dáileadh teasa den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus tá sé éifeachtach ó thaobh costais ag an pláta eitseála sileacain d'iarratais eitseála PSS. Úsáidtear ár gcuid táirgí go forleathan i go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá, agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán