Iompróirí Pláta Brataithe SiC do MOCVD

Is iompróir ardcháilíochta é Iompróirí Pláta Brataithe Semicorex SiC do MOCVD atá deartha le húsáid sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra. Mar gheall ar a íonacht ard, a fhriotaíocht creimeadh den scoth, agus fiú próifíl theirmeach tá sé ina rogha iontach dóibh siúd atá ag lorg iompróir atá in ann éilimh an phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra a sheasamh.

Seol Fiosrúchán

Cur síos ar an Táirge

Tá ardíonacht ag ár n-iompróirí pláta brataithe SiC do MOCVD, rud a fhágann gur rogha iontach é dóibh siúd atá ag lorg iompróir atá an-aonfhoirmeach agus comhsheasmhach ina chuid maoine.
Ár n-iompróirí pláta brataithe SiC le haghaidh MOCVD déanta le sciath chomhdhúile sileacain ard-íonachta ar graifít, rud a fhágann go bhfuil sé an-resistant d'ocsaídiú ag teochtaí arda suas le 1600 ° C. Cinntíonn an próiseas sil-leagan ceimiceach CVD a úsáidtear ina mhonarú íonachta ard agus friotaíocht creimeadh den scoth. Tá sé an-chreimeadh-resistant, le dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil, rud a fhágann go bhfuil sé resistant d'aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha. Cinntíonn a fhriotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta cobhsaíocht ag teochtaí arda suas le 1600 ° C.

Paraiméadair Iompróirí Pláta Brataithe SiC do MOCVD

Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC
Airíonna SiC-CVD
Struchtúr Criostail	FCC β céim
Dlús	g/cm³	3.21
Cruas	Vickers cruas	2500
Méid Grán	μm	2~10
Íonacht Cheimiceach	%	99.99995
Cumas Teasa	J kg- 1 K-1	640
Teocht sublimation	℃	2700
Neart Felexural	MPa (RT 4 phointe)	415
Modal Óg	Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃)	430
Leathnú Teirmeach (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Seoltacht theirmeach	(W/mK)	300

Gnéithe de Susceptor Graifít Brataithe SiC do MOCVD

- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí