Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Leis an leáphointe ard, a fhriotaíocht ocsaídiúcháin, agus a fhriotaíocht creimeadh, is é an Susceptor Fáis Criostail Semicorex SiC-Coated an rogha iontach le húsáid in iarratais fáis criostail aonair. Soláthraíonn a sciath chomhdhúile sileacain maoile den scoth agus airíonna dáileadh teasa, rud a fhágann gur rogha iontach é do thimpeallachtaí ardteochta.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánMá theastaíonn susceptor graifíte uait atá in ann feidhmiú go hiontaofa agus go comhsheasmhach fiú sna timpeallachtaí ardteochta agus creimneach is déine, is é an Susceptor Bairille Semicorex do Chéim Leachtach Epitaxy an rogha iontach. Soláthraíonn a sciath chomhdhúile sileacain seoltacht teirmeach den scoth agus dáileadh teasa, rud a chinntíonn feidhmíocht eisceachtúil in iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs é an Bairille Graphite Brataithe Carbide Sileacain Semicorex an rogha iontach d'iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra a dteastaíonn ard-teas agus friotaíocht creimeadh orthu. Tá seoltacht theirmeach eisceachtúil agus airíonna dáileacháin teasa an-oiriúnach le húsáid i bpróisis LPE agus i dtimpeallachtaí ardteochta eile.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánLeis an dlús den scoth agus seoltacht theirmeach, is é an Susceptor Bairille Brataithe SiC-Sicorex Durable an rogha iontach le húsáid i bpróisis epitaxial agus iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra eile. Soláthraíonn a sciath SiC ard-íonachta cosaint níos fearr agus airíonna dáileadh teasa, rud a fhágann gurb é an rogha is fearr le haghaidh torthaí iontaofa agus comhsheasmhach.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánNuair a thagann sé le déantúsaíocht leathsheoltóra, is é an Susceptor Bairille SiC-Brataithe Ard-Teocht Semicorex an rogha is fearr le haghaidh feidhmíocht agus iontaofacht níos fearr. Mar gheall ar a sciath SiC ardcháilíochta agus seoltacht theirmeach eisceachtúil, tá sé oiriúnach le húsáid sna timpeallachtaí ardteochta agus creimneach is déine fiú.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánLeis an pointe leá ard, friotaíocht ocsaídiúcháin, agus friotaíocht creimeadh, is é an Susceptor Bairille Brataithe Semicorex SiC an rogha iontach le húsáid in iarratais fáis criostail aonair. Soláthraíonn a sciath chomhdhúile sileacain maoile eisceachtúla agus airíonna dáileadh teasa, rud a chinntíonn feidhmíocht iontaofa agus comhsheasmhach fiú sna timpeallachtaí ardteochta is déine.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán