Déantar Iompróir Cumhdach Semicorex RTP/RTA SiC a innealtóireacht chun na coinníollacha is deacra a sheasamh i dtimpeallacht na sil-leagain. Leis an teas ard agus friotaíocht creimeadh, tá an táirge seo deartha chun an fheidhmíocht is fearr a sholáthar d'fhás epitaxial. Tá seoltacht ard teirmeach ag an iompróir brataithe SiC agus airíonna dáileadh teasa den scoth, rud a chinntíonn feidhmíocht iontaofa do RTA, RTP, nó do ghlanadh ceimiceach crua.
Is é ár n-Iompróir Cumhdach RTP/RTA SiC le haghaidh MOCVD Epitaxial Growth an réiteach foirfe le haghaidh láimhseáil wafer agus próiseáil fáis epitaxial. Le dromchla réidh agus ard-mharthanacht i gcoinne glanadh ceimiceach, cuireann an táirge seo feidhmíocht iontaofa ar fáil i dtimpeallachtaí taiscthe crua.
Déantar ábhar ár n-iompróir brataithe RTP/RTA SiC a innealtóireacht chun scoilteanna agus dílamadh a chosc, agus cinntíonn an friotaíocht teasa níos fearr agus aonfhoirmeacht teirmeach feidhmíocht chomhsheasmhach do RTA, RTP, nó glanadh ceimiceach crua.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár n-iompróir sciath RTP/RTA SiC
Paraiméadair Iompróra Cumhdach RTP/RTA SiC
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe den Iompróir Cumhdach RTP/RTA SiC
Graifít brataithe SiC ardíonachta
Friotaíocht teasa níos fearr & aonfhoirmeacht teirmeach
Criostail Fine SiC brataithe le haghaidh dromchla réidh
Ard-marthanacht i gcoinne glanadh ceimiceach
Tá an t-ábhar deartha sa chaoi is nach dtarlóidh scoilteanna agus delamination.