Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Déantar idirdhealú a dhéanamh ar Iompróirí Wafer Semicorex le SiC Cumhdach, mar chuid lárnach den chóras fáis epitaxial, ag a íonacht eisceachtúil, a fhriotaíocht in aghaidh teochtaí foircneacha, agus airíonna séalaithe láidir, ag fónamh mar thráidire atá riachtanach chun tacú le agus téamh sliseog leathsheoltóra le linn an céim chriticiúil de sil-leagan ciseal epitaxial, agus ar an mbealach sin feidhmíocht iomlán an phróisis MOCVD a bharrfheabhsú. Táimid ag Semicorex tiomanta do mhonarú agus do sholáthar Iompróirí Wafer ardfheidhmíochta le Cumhdach SiC a chomhcheanglaíonn cáilíocht le cost-éifeachtúlacht.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánTá an Iompróir Semicorex GaN Epitaxy ríthábhachtach i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, ag comhtháthú ábhair chun cinn agus innealtóireacht bheachtais. Agus é idirdhealú óna sciath CVD SiC, cuireann an t-iompróir seo marthanacht eisceachtúil, éifeachtúlacht theirmeach, agus cumais chosanta ar fáil, rud a chruthaíonn go bhfuil sé ina seasamh amach sa tionscal. Táimid ag Semicorex tiomanta do GhaN Epitaxy Iompróir ardfheidhmíochta a mhonarú agus a sholáthar a chomhcheanglaíonn cáilíocht le cost-éifeachtúlacht.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánLéiríonn an Diosca Wafer atá brataithe le Semicorex SiC dul chun cinn mór i dteicneolaíocht déantúsaíochta leathsheoltóra, agus ról ríthábhachtach aige i bpróiseas casta déantús leathsheoltóirí. Innealtóireacht le cruinneas mion, tá an diosca seo crafted as graifít SiC-brataithe níos fearr, a sheachadadh feidhmíocht den scoth agus marthanacht d'fheidhmchláir epitaxy sileacain. Táimid ag Semicorex tiomanta do Dhiosca Wafer ardfheidhmíochta atá brataithe le SiC a mhonarú agus a sholáthar a chomhcheanglaíonn cáilíocht le cost-éifeachtúlacht.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSócmhainn ríthábhachtach is ea an Tráidire Wafer Semicorex SiC sa phróiseas um Thaisceadh Gaile Ceimiceach Miotail-Orgánach (MOCVD), atá deartha go cúramach chun sliseog leathsheoltóra a thacú agus a théamh le linn na céime bunriachtanacha den sil-leagan ciseal epitaxial. Tá an tráidire seo lárnach do mhonarú feistí leathsheoltóra, áit a bhfuil cruinneas fáis na gciseal thar a bheith tábhachtach. Táimid ag Semicorex tiomanta do Thráidire Sic Wafer ardfheidhmíochta a mhonarú agus a sholáthar a chomhcheanglaíonn cáilíocht le cost-éifeachtúlacht.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánLéiríonn Suathóirí MOCVD Semicorex buaicphointe na ceardaíochta, na seasmhachta, agus na hiontaofachta le haghaidh epitaxy graifíte casta agus tascanna láimhseála beachta wafer. Tá cáil ar na susceptors seo as a n-ard-dlúis, maoile eisceachtúil, agus rialú teirmeach níos fearr, rud a fhágann gurb iad an rogha is fearr le haghaidh timpeallachtaí déantúsaíochta éilitheacha. Táimid ag Semicorex tiomanta do mhonarú agus do sholáthar Suceptors MOCVD ardfheidhmíochta a chomhcheanglaíonn cáilíocht le cost-éifeachtúlacht.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSeasann an Pláta Semicorex d’Fhás Eipítacsach mar eilimint chriticiúil atá deartha go sonrach chun freastal ar chasta na bpróiseas epitaxial. Inoiriúnaithe chun sonraíochtaí agus sainroghanna ar leith a chomhlíonadh, soláthraíonn ár dtairiscint réiteach atá saincheaptha ina n-aonar a oireann do do riachtanais oibriúcháin uathúla gan uaim. Cuirimid raon roghanna saincheaptha ar fáil, ó athruithe méide go héagsúlachtaí san fheidhmchlár brataithe, rud a chuireann ar ár gcumas táirge a innealtóireacht agus a sholáthar atá in ann feidhmíocht a fheabhsú thar chásanna éagsúla feidhmchláir. Táimid ag Semicorex tiomanta do Plátaí ardfheidhmíochta um Fhás Epitaxial a mhonarú agus a sholáthar a chomhcheanglaíonn cáilíocht le cost-éifeachtúlacht.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán