Suaimhneas Pláinéadach ALD

Feidhmchláir:

Taiscí tréleictreach ard-k: Léiríonn an Susceptor Pláinéadach ALD sárfhriotaíocht in aghaidh réamhtheachtaithe ionsaitheach a úsáidtear chun ábhair thréleictreacha ard-k a thaisceadh amhail ocsaíd haifniam (HfO2) agus ocsaíd alúmanaim (Al2O3). Déanann sé seo an Susceptor Pláinéadach ALD oiriúnach chun trasraitheoirí ardfheidhmíochta a dhéanamh le haghaidh feidhmeanna loighic agus cuimhne.

Sraitheanna miotalaithe: Ceadaíonn cobhsaíocht ardteochta an ALD Planetary Susceptor do sil-leagan de mhiotalúcháin ag teochtaí ardaithe, rud a fhágann go bhfuil airíonna feabhsaithe scannáin cosúil le friotachas níos ísle agus dlús níos airde. Tá sé seo ríthábhachtach chun idirnaisc éifeachtacha a chruthú in ardfheistí leathsheoltóra.

Monarú gléas optoelectronic:Laghdaíonn nádúr támh an Susceptor Pláinéadach ALD frithghníomhartha gan iarraidh le réamhtheachtaithe a úsáidtear chun ábhair íogaire cosúil le leathsheoltóirí III-V a thaisceadh, rud a fhágann go bhfuil an Susceptor Pláinéadach ALD oiriúnach go foirfe chun LEDs, léasair agus comhpháirteanna optoelectronic eile a mhonarú.

Timthriall ALD

Taiscí Ciseal Adamhach (ALD)tá roinnt príomhbhuntáistí ag baint leis thar theicnící eile sil-scannán tanaí, rud a fhágann go bhfuil éileamh níos mó ar fheidhmchláir éagsúla, go háirithe i micrileictreonaic agus nanaitheicneolaíocht.

Seo cuid de na príomhbhuntáistí a bhaineann le ALD:

1. Rialú Tiús Angstrom-Leibhéal:

Ligeann ALD do thiús scannáin a rialú go beacht síos go dtí an leibhéal angstrom (0.1 nanaiméadar). Baintear amach an leibhéal cruinnis seo trína imoibrithe dromchla féin-theorannaithe, áit a ndéanann gach timthriall aon chiseal adamhach amháin a thaisceadh.

2. Comhionannas agus Comhréireacht den scoth:

Léiríonn ALD aonfhoirmeacht eisceachtúil thar achair mhóra dromchla agus struchtúir chasta 3D, lena n-áirítear gnéithe cóimheasa ard mar trinsí agus vias. Tá sé seo ríthábhachtach d'fheidhmchláir a éilíonn bratuithe aonfhoirmeacha ar chéimseata casta, mar shampla i bhfeistí leathsheoltóra.

3. Teocht Taiscí Íseal:

Is féidir ALD a dhéanamh ag teochtaí réasúnta íseal (go minic faoi bhun 300 °C) i gcomparáid le teicnící eile sil-leagan. Tá sé seo buntáisteach maidir le foshraitheanna teas-íogair agus cuireann sé ar chumas raon níos leithne ábhar a úsáid.

4. Scannáin Ardchaighdeáin:

De ghnáth, táirgeann ALD scannáin le dlús den scoth, leibhéil eisíontais íseal, agus aonfhoirmeacht ard i gcomhdhéanamh agus i dtiús. Tá na tréithe seo riachtanach chun an fheidhmíocht is fearr a bhaint amach in iarratais éagsúla.

5. Roghnú Ábhar Leathan:

Cuireann ALD rogha leathan ábhar ar fáil is féidir a thaisceadh, lena n-áirítear ocsaídí, nítrídí, miotail agus suilfídeanna. Mar gheall ar an solúbthacht seo tá sé oiriúnach do raon leathan feidhmchlár.

6. Inscálaitheacht agus Infheidhmeacht Tionscail:

Tá teicneolaíocht ALD an-Inscálaithe agus is féidir í a chomhtháthú go héasca i bpróisis déantúsaíochta atá ann cheana féin. Tá sé ag luí le méideanna agus cruthanna foshraitheanna éagsúla, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le haghaidh táirgeadh ard-toirte.