Is príomh-mhonaróir faoi úinéireacht neamhspleách é Semicorex de Ghraifít Brataithe Silicon Carbide, Graphite Ard-íonachta Meaisínithe Beachtais ag díriú ar réimsí déantúsaíochta leathsheoltóra na Graifíte Brataithe Silicon Carbide, Ceirmeacht Silicon Carbide, MOCVP. Tá buntáiste praghais maith ag ár n-iompróir GaN-on-SiC Epitaxial Wafers agus clúdaíonn sé go leor de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Is sciath cairbíde sileacain (SiC) dlúth agus resistant caitheamh-resistant é an Cumhdach Semicorex SiC ar Iompróirí Wafers Epitaxial GaN-on-SiC. Tá airíonna ardchreimeadh agus friotaíocht teasa aige chomh maith le seoltacht theirmeach den scoth. Cuirimid SiC i sraitheanna tanaí ar an graifít ag baint úsáide as an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD).
Tá ár n-iompróir GaN-on-SiC Epitaxial Wafers deartha chun an patrún sreafa gáis lannach is fearr a bhaint amach, ag cinntiú cothroime próifíl teirmeach. Cuidíonn sé seo le haon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí a chosc, ag cinntiú fás epitaxial ardcháilíochta ar an sliseanna wafer.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár nIompróir Sliseog Epitaxial GaN-on-SiC.
Paraiméadair d'Iompróra Sliseog Epitaxial GaN-on-SiC
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe d'Iomaróir Sliseog Eipiteacsach GaN-on-SiC
- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí