Glacadóir SiC ALD

Buntáistí SemicorexGlacadóir SiC ALD:

Cobhsaíocht ardteochta:Coinníonn an SiC ALD Susceptor a shláine struchtúrach ag teochtaí ardaithe (suas le 1600 ° C), rud a chumasaíonn próisis ALD ardteochta as a dtagann scannáin níos dlúithe a bhfuil airíonna leictreacha feabhsaithe acu.

Inertness ceimiceach:Léiríonn an SiC ALD Susceptor friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán agus réamhtheachtaithe a úsáidtear in ALD, ag íoslaghdú rioscaí éillithe agus ag cinntiú cáilíocht scannáin chomhsheasmhach.

Dáileadh teochta aonfhoirmeach:Cuireann seoltacht ard teirmeach an SiC ALD Susceptor dáileadh teochta aonfhoirmeach chun cinn ar fud an dromchla susceptor, rud a fhágann go bhfuil taisceadh scannán aonfhoirmeach agus feidhmíocht feiste feabhsaithe.

Amach Íseal:Tá airíonna éalaithe ísle ag SiC, rud a chiallaíonn go scaoileann sé eisíontais íosta ag teochtaí arda. Tá sé seo ríthábhachtach chun timpeallacht phróiseála ghlan a chothabháil agus chun éilliú an scannáin thaisce a chosc.

Friotaíocht Plasma:Léiríonn SiC friotaíocht maith in aghaidh eitseála plasma, rud a fhágann go bhfuil sé ag luí le próisis ALD (PEALD) a fheabhsaítear le plasma.

Saolré fada:Aistríonn marthanacht agus friotaíocht caitheamh agus cuimilt SiC ALD Susceptor go saolré níos faide don susceptor, ag laghdú an ghá atá le hathsholáthar go minic agus ag ísliú costais oibriúcháin iomlána.

Comparáid idir ALD agus CVD:

Is teicníochtaí sil-scannán tanaí a úsáidtear go forleathan iad Taiscí Ciseal Adamhach (ALD) agus Sil-leagan Ceimiceach Gaile (CVD) a bhfuil tréithe sainiúla acu. Tá sé ríthábhachtach a gcuid difríochtaí a thuiscint chun an modh is oiriúnaí a roghnú d'fheidhmchlár sonrach.

ALD vs CVD

Buntáistí ALD:

Rialú Tiús Eisceachtúil agus Comhionannas:Ideal d'fheidhmchláir a éilíonn beachtas ar leibhéal adamhach agus bratuithe comhréireacha ar chéimseata casta.

Próiseáil Teocht Íseal:Cumasaíonn sé sil-leagan ar fhoshraitheanna teocht-íogair agus rogha ábhar níos leithne.

Ardchaighdeán Scannán:Mar thoradh ar scannáin dlúth, saor ó phionna le neamhíonachtaí íseal.

Buntáistí tábhachtacha CVD:

Ráta Taiscí níos airde:Oiriúnach d'iarratais a éilíonn rátaí taisce níos tapúla agus scannáin níos tiús.

Costas níos ísle:Níos costéifeachtaí maidir le sil-leagan mór-limistéar agus iarratais nach bhfuil chomh héilitheach céanna.

Solúbthacht:Is féidir leis raon leathan ábhar a thaisceadh, lena n-áirítear miotail, leathsheoltóirí, agus inslitheoirí.

Comparáid Modh Taiscí Scannán Thana