Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Is comhpháirt riachtanach é an Susceptor Epitaxy Silicon Aon-criostail atá deartha le haghaidh próisis epitaxy Si-GaN, ar féidir iad a chur in oiriúint do shonraíochtaí agus roghanna aonair, ag soláthar réiteach saincheaptha a ailíníonn go foirfe le ceanglais shonracha. Cibé an bhfuil modhnuithe ar thoisí nó coigeartuithe i dtiús an bhrataithe i gceist, tá an cumas againn táirge a dhearadh agus a sheachadadh a fhreastalaíonn ar pharaiméadair phróisis éagsúla, agus ar an gcaoi sin an fheidhmíocht a bharrfheabhsú d'fheidhmchláir spriocdhírithe. Daingníonn tiomantas Semicorex do cháilíocht atá chun tosaigh sa mhargadh, mar aon le cúinsí iomaíocha fioscacha, ár ndíograis chun comhpháirtíochtaí a bhunú chun do riachtanais tíolactha sliseog leathsheoltóra a chomhlíonadh.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánCrafted le cruinneas agus innealtóireacht le haghaidh iontaofacht, gnéithe SiC Epitaxy Susceptor friotaíocht ard creimeadh, seoltacht teirmeach ard, friotaíocht le turraing teirmeach, agus cobhsaíocht ceimiceach ard, rud a chuireann ar chumas feidhmiú go héifeachtach laistigh d'atmaisféar epitaxial. Mar sin, meastar go bhfuil SiC Epitaxy Susceptor mar chroílár agus comhpháirt ríthábhachtach i dtrealamh MOCVD. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs táirge speisialaithe é Sealbhóir Bád Silicon Carbide Semicorex atá déanta as ábhar SiC, atá deartha go cúramach le haghaidh feidhmeanna i dtionscail ar nós fótavoltach, leictreonaic agus leathsheoltóirí. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánBád Gréine Graphite Semicorex, sealbhóir wafer beachta-innealta atá deartha chun freastal ar éilimh dhian na próiseála leathsheoltóra ardteochta. Tá an bád nuálaíoch seo déanta as graifít ardghrád, agus cuireann sé cobhsaíocht theirmeach agus marthanacht gan sárú ar fáil, rud a chinntíonn an fheidhmíocht is fearr sna timpeallachtaí foirnéise is déine fiú. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSeasann Semicorex Support Crucible mar chomhpháirt ríthábhachtach laistigh den phróiseas casta d’fhás criostail gréine sileacain, ag fónamh mar bhunús seasta chun amhábhar a chlaochlú go dtinní sileacain ardchaighdeáin atá ceaptha d’fheidhmchláir fhótavoltach. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs réiteach ceannródaíoch é Susceptor Bairille Semicorex le SiC Cumhdach atá deartha chun éifeachtacht agus cruinneas próisis epitaxial sileacain a ardú. Agus aird chúramach á tabhairt ar mhionsonraí, tá an Susceptor Bairille seo le SiC Cumhdach oiriúnaithe chun freastal ar riachtanais éilitheacha déantúsaíochta leathsheoltóra, ag feidhmiú mar an sealbhóir wafer is fearr agus ag éascú aistriú teasa go sliseog gan uaim. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán