Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Feabhsaigh éifeachtúlacht agus cruinneas do phróisis epitaxial leathsheoltóra leis an bhFáinne Teasa Epi Pre ceannródaíoch Semicorex. Agus é déanta go beacht ó graifít SiC-brataithe, tá ról lárnach ag an bhfáinne ardleibhéil seo chun d'fhás epitaxial a bharrfheabhsú trí gháis phróisis a réamhthéamh sula dtéann siad isteach sa seomra.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánSemicorex SiC Parts Abdeck Segmenten, comhpháirt ríthábhachtach i ndéantúsaíocht gléas leathsheoltóra a ath-sainmhíníonn cruinneas agus marthanacht. Déanta as graifít brataithe SiC, tá ról lárnach ag na codanna beaga seo fós riachtanacha maidir le próiseáil leathsheoltóra a chur ar aghaidh chuig leibhéil nua éifeachtúlachta agus iontaofachta.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánDiosca Pláinéadach Semicorex, susceptor wafer graifíte atá brataithe le cairbíd sileacain nó iompróir atá deartha le haghaidh próisis Eipiteacsaí Líoma Mhóilíneach (MBE) laistigh d'fhoirnéisí Miotail-Orgánach um Thaisceadh Gaile Ceimiceach (MOCVD). Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánScaoil buaic an bheachtais i ndéantúsaíocht leathsheoltóra lenár Susceptor Pancóg CVD SiC. Feidhmíonn an comhpháirt cruth diosca seo, atá deartha go sainiúil do threalamh leathsheoltóra, mar ghné ríthábhachtach chun tacú le sliseoga leathsheoltóra tanaí le linn próisis sil-leagan ardteochta epitaxial. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánFeabhas a chur ar chumais agus ar éifeachtúlacht do threalamh leathsheoltóra lenár gComhpháirteanna SiC Leathsheoltóra úrnua do Epitaxial. Déantar na comhpháirteanna leath-sorcóireacha seo a innealtóireacht go sonrach don chuid ionghabhála d'imoibreoirí epitaxial, ag imirt ról ríthábhachtach chun próisis déantúsaíochta leathsheoltóra a bharrfheabhsú. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánFeabhas a chur ar fheidhmiúlacht agus ar éifeachtúlacht do chuid feistí leathsheoltóra lenár Páirteanna Epitaxial Táirgí Droim Leathcheann. Deartha go sonrach le haghaidh comhpháirteanna ionghabhála an imoibreora LPE, tá ról lárnach ag an accessory leath-sorcóireach seo chun do phróisis leathsheoltóra a bharrfheabhsú.
Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.