Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Déantar Susceptor Semicorex SiC le haghaidh ICP Etch a mhonarú le fócas ar ardchaighdeáin cáilíochta agus comhsheasmhachta a chothabháil. Cinntíonn na próisis déantúsaíochta láidre a úsáidtear chun na heasláin seo a chruthú go gcomhlíonann gach baisc critéir feidhmíochta déine, ag seachadadh torthaí iontaofa agus comhsheasmhach in eitseáil leathsheoltóra. Ina theannta sin, tá Semicorex feistithe le sceidil seachadta tapa a thairiscint, rud atá ríthábhachtach chun coinneáil suas le héilimh tapa slánúcháin an tionscail leathsheoltóra, ag cinntiú go gcomhlíontar amlínte táirgthe gan cur isteach ar cháilíocht.Táimid ag Semicorex tiomanta do mhonarú agus do sholáthar ardfheidhmíochta. Susceptor SiC do ICP Etch a chomhcheanglaíonn cáilíocht le cost-éifeachtúlacht.**
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirt riachtanach é Fáinne Tacaíochta Brataithe Semicorex SiC a úsáidtear sa phróiseas fáis epitaxial leathsheoltóra. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs comhpháirt ríthábhachtach é Fáinne Brataithe Semicorex SiC sa phróiseas fáis epitaxial leathsheoltóra, atá deartha chun freastal ar riachtanais éilitheacha déantúsaíochta leathsheoltóra nua-aimseartha. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánEascraíonn iontaofacht agus feidhmíocht den scoth Bád Semicorex SiC le haghaidh Idirleata Cealla Gréine as a gcumas seachadadh comhsheasmhach i gcoinníollacha éilitheacha táirgeadh cealla gréine. Cinntíonn airíonna ábhair ardchaighdeáin SiC go bhfeidhmíonn na báid seo go barrmhaith thar raon leathan coinníollacha oibriúcháin, ag cur le táirgeadh cobhsaí agus éifeachtach cealla gréine. I measc a dtréithe feidhmíochta tá neart meicniúil den scoth, cobhsaíocht theirmeach, agus friotaíocht in aghaidh strusóirí comhshaoil, rud a fhágann gur uirlis fíor-riachtanach sa tionscal fótavoltach é SiC Boat for Solar Cell Difusion.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs sealbhóir substráit beachta-innealtóireacht é Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck atá deartha go sonrach chun nítríd ghailliam a láimhseáil agus a phróiseáil ar sliseoga epitaxial sileacain. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs paragon beachtais agus nuálaíochta iad na Suimeoirí Wafer Semicorex SiC do MOCVD, atá saindeartha chun éascú le sil-leagan epitaxial ábhar leathsheoltóra ar sliseog. Cuireann airíonna ábhair níos fearr na plátaí ar a gcumas na coinníollacha déine fáis epitaxial a sheasamh, lena n-áirítear teochtaí arda agus timpeallachtaí creimneach, rud a fhágann go bhfuil siad fíor-riachtanach le haghaidh déantúsaíochta leathsheoltóra ardchruinneas. Táimidne ag Semicorex tiomanta do mhonarú agus do sholáthar Susceptors Wafer Sic ardfheidhmíochta do MOCVD a chomhcheanglaíonn cáilíocht le cost-éifeachtúlacht.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán