Iompróir Wafer 6'' do Aixtron G5

Imríonn Iompróir Wafer Semicorex 6'' do Aixtron G5, ar a dtugtar go minic mar susceptors, ról ríthábhachtach trí na sliseog leathsheoltóra a choinneáil go daingean le linn próiseála ardteochta. Cinntíonn na susceptors go bhfanann na sliseog i suíomh seasta, rud atá ríthábhachtach le haghaidh sil-leagan ciseal aonfhoirmeach:

Bainistíocht Teirmeach:

Tá an t-iompróir wafer 6'' le haghaidh Aixtron G5 deartha chun téamh agus fuarú aonfhoirmeach a sholáthar ar fud an dromchla wafer, rud atá ríthábhachtach do na próisis fáis epitaxial a úsáidtear chun sraitheanna leathsheoltóra ardchaighdeáin a chruthú.

Fás Epitaxial:

Sraitheanna SiC agus GaN:

Úsáidtear ardán Aixtron G5 go príomha le haghaidh fás epitaxial na sraitheanna SiC agus GaN. Tá na sraitheanna seo bunúsach i ndéanamh trasraitheoirí ard-leictreon-shoghluaisteachta (HEMTanna), LEDanna, agus ardfheistí leathsheoltóra eile.

Cruinneas agus Aonfhoirmeacht:

Éascaítear an cruinneas ard agus an aonfhoirmeacht a theastaíonn sa phróiseas fáis epitaxial ag airíonna eisceachtúla an Iompróir Wafer 6'' do Aixtron G5. Cuidíonn an t-iompróir an tiús déine agus aonfhoirmeacht comhdhéanamh a bhaint amach atá ag teastáil le haghaidh feistí leathsheoltóra ardfheidhmíochta.

Sochair:

Cobhsaíocht Ardteochta:

Caoinfhulaingt Teochta Foircní:

Is féidir leis an Iompróir Wafer 6'' le haghaidh Aixtron G5 teocht an-ard a sheasamh, go minic níos airde ná 1600 °C. Tá an cobhsaíocht seo ríthábhachtach do phróisis epitaxial a éilíonn teocht ard marthanach ar feadh tréimhsí fada.

Ionracas Teirmeach:

Cinntíonn cumas an Iompróir Wafer 6'' do Aixtron G5 sláine struchtúrach a choinneáil ag teochtaí arda den sórt sin feidhmíocht chomhsheasmhach agus laghdaíonn sé an baol díghrádaithe teirmeach, rud a d'fhéadfadh cáilíocht na sraitheanna leathsheoltóra a chur i mbaol.

Seoltacht Theirmeach Sármhaith:

Dáileadh Teasa:

Éascaíonn seoltacht ard teirmeach SiC aistriú teasa éifeachtach ar fud an dromchla wafer, ag cinntiú próifíl teocht aonfhoirmeach. Tá an aonfhoirmeacht seo ríthábhachtach chun grádáin teirmeacha a sheachaint a d'fhéadfadh lochtanna agus neamh-éidearthachtaí a bheith mar thoradh ar na sraitheanna epitaxial.

Rialú Próisis Feabhsaithe:

Ceadaíonn bainistíocht teirmeach feabhsaithe rialú níos fearr ar an bpróiseas fáis epitaxial, rud a chuireann ar chumas táirgeadh sraitheanna leathsheoltóra ar chaighdeán níos airde le níos lú lochtanna.

Friotaíocht Cheimiceach:

Comhoiriúnacht Timpeallachta Creimneach:

Soláthraíonn an t-iompróir wafer 6'' le haghaidh Aixtron G5 friotaíocht eisceachtúil do na gáis chreimneach a úsáidtear go coitianta i bpróisis CVD, amhail hidrigin agus amóinia. Cuireann an fhriotaíocht seo le saolré na n-iompróirí wafer tríd an tsubstráit graifíte a chosaint ó ionsaí ceimiceach.

Costais Chothabhála Laghdaithe:

Laghdaíonn marthanacht an Iompróir Wafer 6'' le haghaidh Aixtron G5 minicíocht cothabhála agus athsholáthair, rud a fhágann go mbíonn costais oibriúcháin níos ísle agus am méadaithe do threalamh Aixtron G5.

Comhéifeacht Íseal um Leathnú Teirmeach (CTE):

Strus Teirmeach Íoslaghdaithe:

Cuidíonn CTE íseal SiC le strus teirmeach a íoslaghdú le linn na dtimthriallta tapa téimh agus fuaraithe atá mar chuid dhílis de phróisis fáis epitaxial. Laghdaíonn an laghdú seo ar strus teirmeach an dóchúlacht go gclisfidh nó go gcloisfidh sé sliseog, rud a d’fhéadfadh teip gléas a bheith mar thoradh air.

Comhoiriúnacht le Trealamh Aixtron G5:

Dearadh In oiriúint:

Déantar Iompróir Wafer Semicorex 6'' do Aixtron G5 a innealtóireacht go sonrach le bheith ag luí le trealamh Aixtron G5, ag cinntiú an fheidhmíocht is fearr agus comhtháthú gan uaim.

Feidhmíocht Uasmhéadaithe:

Uasmhéadaíonn an comhoiriúnacht seo feidhmíocht agus éifeachtúlacht chóras Aixtron G5, rud a chuireann ar a chumas freastal ar riachtanais dhian na bpróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra nua-aimseartha.