Iompróir Wafer

· Seoltacht theirmeach den scoth: aistriú teasa éifeachtach a éascú, atá riachtanach le linn próisis fáis epitaxial leathsheoltóra.

· Friotaíocht ardteochta: seasann an sciath SiC le timpeallachtaí teasa foircneacha, ag cinntiú go gcoimeádann an t-iompróir a fheidhmíocht ar feadh an timthrialla teirmeach san imoibreoir.

· Friotaíocht creimeadh ceimiceach: cuireann an sciath SiC go mór le friotaíocht an iompróra ar ocsaídiú agus creimeadh ó gháis imoibríocha a bhíonn go minic le linn epitaxy.

· Cobhsaíocht toisí: cinntíonn an teaglaim de SiC agus graifít go gcoimeádann an t-iompróir a chruth agus a chruinneas le himeacht ama, rud a íoslaghdaíonn an baol dífhoirmithe le linn ritheanna fada próisis.

Feidhmchláir i bhFás Epitaxy Leathsheoltóra

Próiseas is ea epitaxy ina ndéantar sraith tanaí d’ábhar leathsheoltóra a thaisceadh ar fhoshraith, go hiondúil ina wafer, chun struchtúr laitíse criostail a dhéanamh. Le linn an phróisis seo, tá sé ríthábhachtach láimhseáil bheachtais sliseog, toisc go bhféadfadh lochtanna nó éagsúlachtaí struchtúr na gciseal a bheith mar thoradh ar dhialltaí beaga fiú sa suíomh sliseog.

Tá ról lárnach ag an Iompróir Wafer maidir lena chinntiú go gcoimeádtar sliseog leathsheoltóra go daingean agus suite i gceart le linn an phróisis seo. Seachadann an meascán de graifít SiC-brataithe na tréithe feidhmíochta riachtanacha le haghaidh epitaxy chomhdhúile sileacain (SiC), próiseas a bhaineann le fás criostail SiC ard-íonachta le húsáid i leictreonaic chumhachta, optoelectronics, agus feidhmchláir leathsheoltóra chun cinn eile.

Go sonrach, an t-iompróir wafer:

· Soláthraíonn ailíniú beacht wafer: Cinntiú go bhfuil aonfhoirmeacht i bhfás na ciseal epitaxial trasna na sliseog, rud atá ríthábhachtach maidir le táirgeacht agus feidhmíocht gléas.

· Seasann sé le timthriallta teirmeacha: Fanann graifít atá brataithe le SiC seasmhach agus iontaofa, fiú i dtimpeallachtaí ardteochta suas go 2000 ° C, ag cinntiú go láimhseáiltear wafer comhsheasmhach le linn an phróisis.

· Íoslaghdaíonn sé éilliú wafer: Cinntíonn comhdhéanamh ábhar ard-íonachta an iompróra nach bhfuil an wafer nochta d'ábhar salaithe nach dteastaíonn le linn an phróisis fáis epitaxial.

In imoibreoirí epitaxy leathsheoltóra, cuirtear an t-iompróir wafer laistigh den seomra imoibreora, áit a bhfeidhmíonn sé mar ardán tacaíochta don wafer. Ceadaíonn an t-iompróir an wafer a bheith faoi lé teochtaí arda agus gáis imoibríocha a úsáidtear sa phróiseas fáis epitaxial gan cur isteach ar shláine an wafer. Coscann an sciath SiC idirghníomhaíochtaí ceimiceacha leis na gáis, rud a chinntíonn fás ábhar ardchaighdeáin, saor ó locht.

Buntáistí Iompróir Wafer Graifíte Brataithe SiC

1. Marthanacht Feabhsaithe: Méadaíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh an ábhair graifíte, ag laghdú an baol díghrádaithe thar ilúsáidí.

2. Cobhsaíocht Ardteochta: Is féidir leis an Iompróir Wafer na teochtaí foircneacha is coitianta i bhfoirnéisí fáis epitaxial a fhulaingt, a shláine struchtúrach a choinneáil gan warping nó scoilteadh.

3. Toradh Feabhsaithe agus Éifeachtúlacht Próisis: Trína chinntiú go ndéantar na sliseoga a láimhseáil go slán agus go comhsheasmhach, cuidíonn an t-iompróir wafer grafite atá brataithe le SiC le feabhas a chur ar thorthaí foriomlán agus ar éifeachtúlacht an phróisis fáis epitaxial.

4. Roghanna Saincheaptha: Is féidir an t-iompróir a shaincheapadh i dtéarmaí méid agus cumraíochta chun freastal ar riachtanais shonracha imoibreoirí epitaxial éagsúla, ag soláthar solúbthachta do raon leathan d'iarratais leathsheoltóra.

leathchorexGraifít SiC-brataitheIs comhpháirt ríthábhachtach é Iompróir Wafer sa tionscal leathsheoltóra, ag soláthar réiteach optamach maidir le láimhseáil wafer le linn an phróisis fáis epitaxial. Leis an meascán de chobhsaíocht theirmeach, friotaíocht ceimiceach, agus neart meicniúil, cinntíonn sé láimhseáil beacht agus iontaofa na sliseog leathsheoltóra, rud a fhágann go mbíonn torthaí ar chaighdeán níos airde agus toradh feabhsaithe i bpróisis epitaxy. Cibé an bhfuil sé i gcás epitaxy chomhdhúile sileacain nó feidhmchláir leathsheoltóra chun cinn eile, cuireann an t-iompróir wafer seo an marthanacht agus an fheidhmíocht is gá chun caighdeáin dhian déantúsaíochta leathsheoltóra nua-aimseartha a chomhlíonadh.