Glacadóir Wafer

Tá Semicorex Wafer Susceptor crafted go saineolach ó graifít agus brataithe le carbide sileacain (SiC) chun freastal ar na coinníollacha éilitheacha de mhonarú leathsheoltóra nua-aimseartha.

I bpróisis epitaxy, tá sé fíor-riachtanach timpeallacht chobhsaí agus rialaithe a chothabháil. Feidhmíonn an Susceptor Wafer mar an ardán bunúsach ar a gcuirtear sliseoga le linn na sil-leagain, ag comhlíonadh na gceanglas beachta maidir le haonfhoirmeacht teochta, táimhe ceimiceach, agus neart meicniúil chun sraitheanna epitaxial ardcháilíochta a bhaint amach.

Tá rogha na graifíte mar bhunábhar don Wafer Susceptor á thiomáint ag a seoltacht theirmeach den scoth agus airíonna meicniúla. Tá cumas Graphite teochtaí arda a sheasamh agus sláine struchtúrach á chothabháil ríthábhachtach i dtimpeallachtaí ardteochta imoibreoirí epitaxy. Ina theannta sin, cinntíonn seoltacht theirmeach graifíte dáileadh éifeachtach teasa ar fud an sliseog, ag laghdú an riosca go mbeidh grádáin teochta ann a d'fhéadfadh lochtanna sa chiseal epitaxial a bheith mar thoradh air.

Chun feidhmíocht an Wafer Susceptor a fheabhsú, cuirtear sciath chomhdhúile sileacain (SiC) i bhfeidhm go saineolaithe ar an mbonn graifíte. Is ábhar an-mharthanach é SiC le friotaíocht ceimiceach níos fearr, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid i dtimpeallachtaí leathsheoltóra ina mbíonn gáis imoibríocha i láthair go minic. Soláthraíonn an sciath SiC bacainn chosanta a chosnaíonn an graifít ó imoibrithe ceimiceacha féideartha, rud a chinntíonn fad saoil an t-suceptor wafer agus a chothaíonn timpeallacht ghlan laistigh den imoibreoir.

Is comhpháirt fíor-riachtanach i bpróisis epitaxy leathsheoltóra é Susceptor Wafer Semicorex déanta as graifít SiC-brataithe. Mar gheall ar a chomhcheangal d'airíonna teirmeacha agus meicniúla graifít le cobhsaíocht cheimiceach agus teirmeach chomhdhúile sileacain, tá sé an-oiriúnach d'éilimh dhian na déantúsaíochta leathsheoltóra nua-aimseartha. Tugann an dearadh aon-wafer rialú beacht ar an bpróiseas epitaxy, ag cur le táirgeadh feistí leathsheoltóra ardchaighdeáin. Cinntíonn an susceptor seo go láimhseáiltear sliseoga leis an gcúram agus an cruinneas is mó, rud a fhágann go bhfuil sraitheanna epitaxial níos fearr agus táirgí leathsheoltóra a fheidhmíonn níos fearr.