Fáinní Eitseála Sileacain

Is iad fáinní eitseála sileacain na comhpháirteanna riachtanacha laistigh den seomra eitse plasma de threalamh eitse CCP/ICP agus is gnách iad a chur timpeall ar an sliseog leathsheoltóra. Is iad na príomhfheidhmeanna atá acu ná tacú leis an wafer leathsheoltóra, dáileadh plasma aonfhoirmeach a chothabháil, imeall an wafer a chosaint, agus mar sin cuidiú le coinníollacha oibriúcháin is fearr a chruthú don phróiseas eitseála plasma.

Buntáistí fáinní eitseála sileacain Semicorex

1. Roghnú ábhar préimhe

Déantar fáinní eitseála sileacain Semicorex a mhonarú ón MCZ ard-íonachta a roghnaíodh go cúramachsileacain mhonacrystalline, a thairgeann na hairíonna den scoth seo a leanas thar sileacain monocrystalline traidisiúnta CZ.

Ard-íonacht: Tá an íonacht os cionn 99.9999999%, rud a chiallaíonn nach bhfuil beagnach aon eisíontais ag fáinní eitseála sileacain Semicorex. Is féidir leis an íonacht ultra-ard seo cur isteach ar neamhíonachtaí comhpháirteanna a sheachaint go héifeachtach le linn an phróisis eitseála, rud a ráthóidh cruinneas ard eitseála.

Struchtúr cobhsaí: Tá struchtúr criostail níos fearr ag sileacain monocrystalline MCZ le lochtanna níos ísle ná sileacain monocrystalline CZ traidisiúnta. Tugann an struchtúr cobhsaí criostail seo friotaíocht feabhsaithe creimthe do chreimeadh plasma do fháinní eitseála sileacain Semicorex agus cuireann siad ar a gcumas coinníollacha oibriúcháin eitseála crua a sheasamh.

Comhionannas friotachais den scoth:Fáinní eitseála sileacain Semicorexaonfhoirmeacht friotaíochta eisceachtúil a sheachadadh le RRG < 5%. Íseal Res. (<0.02 Ω·cm), Meán Re. (0.2–25 Ω·cm), Ard Res. (>100 Ω·cm). Is féidir leis an aonfhoirmeacht friotachais den scoth seo dáileadh plasma míchothrom a íoslaghdú de bharr friotachas ró-ard nó íseal, rud a chuireann le réimse leictreach idéalach le haghaidh eitseáil plasma ardchruinneas.

2. Próiseáil beachtais agus iniúchadh cáilíochta dian

Tá foireann theicniúil le taithí ag Semicorex atá in ann saincheaptha pearsanta agus meastóireachtaí teicniúla a sholáthar dár gcustaiméirí luachmhara agus tá nósanna imeachta próiseála agus iniúchta córasacha bunaithe aige freisin chun cáilíocht an táirge a ráthú.

Seirbhísí saincheaptha solúbtha: Tacaíonn Semicorex le saincheaptha bunaithe ar líníochtaí na gcustaiméirí, agus is féidir le trastomhas uasta saincheaptha fáinní eitseála sileacain a bheith suas le 470mm.

Cóireáil dromchla ardchaighdeáin: Is féidir cruinneas snasta a rialú go docht laistigh de Ra < 0.1 µm, agus bailchríoch dromchla Ra> 0.1 µm a bhaint amach trí mheilt mhín.

Cigireacht dhian ar cháilíocht: Déanfar an tomhas tríthoiseach, an tástáil friotachais, agus an t-iniúchadh amhairc chun a chinntiú go bhfuil fáinní eitseála sileacain saor ó sceallóga, scratches, scoilteanna, stains agus lochtanna eile.