Injector Sileacain

Is comhpháirt íonachta ultra-ard é Semicorex Silicon Injector atá deartha chun gás a sheachadadh go beacht i gcórais taisce ceimiceach gaile ísealbhrú (LPCVD) le haghaidh sil-leagain polasilicon agus scannán tanaí. Tógtha ó 9N (99.9999999%)sileacain ard-íonachta, soláthraíonn an injector feadánacha fíneáil seo glaineacht níos fearr, comhoiriúnacht le ceimiceáin, agus cobhsaíocht theirmeach i gcoinníollacha próisis foircneacha.

De réir mar a leanann déantúsaíocht leathsheoltóra ag athrú go leibhéil níos airde comhtháthaithe agus rialú níos déine ar éilliú, beidh ar gach comhpháirt seachadta gáis sa seomra sil-leagan caighdeáin níos airde ná mar a bhí roimhe seo a chomhlíonadh. Forbraíodh an Semicorex Silicon Injector go sonrach le haghaidh na gceanglas seo - ábhair ghásacha a sheachadadh ar bhealach cobhsaí agus aonfhoirmeach ar fud an tseomra imoibrithe gan éilliú a thabhairt isteach a chuirfeadh drochthionchar ar cháilíocht scannáin, nó ar tháirgeacht wafer.

Déantar an t-injector a mhonarú ó shileacan monocrystalline nó polycrystalline ag brath ar riachtanais an phróisis, agus tá an t-ábhar deartha le bheith neamhíonachtaí íseal-mhiotalacha, cáithníneacha agus ianach. Déanann sé seo foráil do chomhoiriúnacht le coinníollacha LPCVD ultra-ghlan, nuair is féidir fiú rian éillithe locht a chothú sa scannán nó teip feiste. Laghdaíonn úsáid sileacain mar bhunábhar freisin neamhréireanna ábhartha idir comhpháirteanna an injector agus sileacain an tseomra, rud a íslíonn go mór rioscaí giniúna cáithníní nó imoibrithe ceimiceacha le linn úsáide agus oibríocht ardteochta.

Ceadaíonn struchtúr feadánacha tiomnaithe an Silicon Injector dáileadh rialaithe agus comhionann gáis thar ualach aonfhoirmeach wafer. Cinntíonn na orifices micrea-innealtóireachta agus an dromchla mín istigh rátaí sreafa in-atáirgthe mar aon le dinimic an gháis lannaigh atá ríthábhachtach do thiús comhsheasmhach scannáin agus do rátaí seasta sil-leagan san fhoirnéis. Cibé an bhfuil sé silane (SiH₄), dichlorosilane (SiH₂Cl₂), nó gáis imoibríocha eile, cuireann an injector feidhmíocht iontaofa agus cruinneas atá ag teastáil le haghaidh fáis scannán polysilicon ar ardchaighdeán.

Mar gheall ar chobhsaíocht theirmeach den scoth, is féidir leis an Semicorex Silicon Injector teocht suas le 1250 ° C a sheasamh agus féadfar é a rialú gan eagla ar dhífhoirmiú, scoilteadh nó warping le linn timthriallta iolracha de ardteocht LPCVD. Ina theannta sin, cuireann a sheasamh ard in aghaidh ocsaídiúcháin agus táimhe ceimiceach rití fada ar fáil agus é in atmaisféar ocsaídeach, laghdaitheach nó creimneach agus ag laghdú cothabhála agus ag cruthú cobhsaíochta próisis.

Déantar gach injector a mhonarú ag baint úsáide as meaisínithe agus snasta CNC úrscothach, ag baint amach lamháltais fo-mhicrón tríthoiseach agus bailchríocha ultra-réidh ar an dromchla. Laghdaíonn an bailchríoch dromchla ardchaighdeáin suaiteacht gháis, rud a chruthaíonn fíorbheagán cáithníní nó gan cháithníní ar bith agus ag an am céanna cinntíonn sé saintréithe sreafa comhsheasmhach ar fud athruithe neamh-chomhsheasmhacha teirmeacha agus brú. Cinntíonn déantúsaíocht beacht próisis atá rialaithe go docht, in-atáirgthe agus torthaí iontaofa, agus mar sin feidhmíocht trealaimh chomhsheasmhach.

Déanann Semicorex Insteallairí Sileacain ordaithe, atá ar fáil i bhfaid saincheaptha, trastomhais, agus cumraíochtaí soic. Is féidir réitigh shaincheaptha a fhorbairt chun feabhas a chur ar phatrúin scaipthe gáis le haghaidh céimseataí imoibreora aonuaire nó oidis sil-leagan. Déantar gach Injector a iniúchadh agus a fhíorú le haghaidh íonachta chun an leibhéal is airde de ghrád leathsheoltóra a sheachadadhcomhpháirteanna sileacain.

Soláthraíonn Semicorex Silicon Injector an cruinneas agus an íonacht atá ag teastáil i ndéantúsaíocht leathsheoltóra an lae inniu. Soláthraíonn ionchorprú sileacain ultra-ard íonachta 9N, cruinneas meaisínithe leibhéal micron, agus cobhsaíocht ard teirmeach agus ceimiceach dáileadh gáis aonfhoirmeach, giniúint cáithníní níos ísle, agus iontaofacht eisceachtúil nuair a bhíonn LPCVD polysilicon á thaisceadh.