Is iompróir ard-íonachta é Semicorex Silicon Wafer Boat atá deartha le haghaidh foirnéisí leathsheoltóra ardteochta, a thacaíonn le sliseoga le linn próisis ocsaídiúcháin agus laghdaithe ag 1200–1250 °C. Soláthraíonn Semicorex táirgí níos fearr, feidhmíocht ultra-ghlan, agus torthaí iontaofa a fheabhsaíonn toradh gléas go díreach.*
Is féidir le Semicorex struchtúr bád wafer sileacain a shaincheapadh, lena n-áirítear an cruth slat groove, fad fiacail groove, cruth, uillinn tilt, agus cumas luchtaithe iomlán wafer, agus is féidir é a tháirgeadh de réir riachtanais an chustaiméara. Is féidir le báid sileacain ardteochta an damáiste teagmhála do sliseog sileacain a laghdú go héifeachtach agus toradh próisis a fheabhsú. Ní thacaíonn a dhearadh ardteochta "túir gan duillín" le sliseog ach ag barr na fiacaile tacaíochta. I gcomparáid lechomhdhúile sileacain, tá cruas réasúnta íseal ag sileacain, rud a laghdaíonn damáiste meicniúil do sliseoga, rud a fheabhsóidh ráta pas laitíse agus go laghdaítear costais táirgthe go héifeachtach. Tá an bád sileacain comhleáite comhdhéanta de roinnt codanna: fiacla, pláta bonn, agus pláta barr, atá comhleádh le chéile. Laghdaíonn sé seo costais táirgthe. I gcás damáiste páirteach, is féidir na codanna damáiste a athsholáthar gan an bád sileacain iomlán a athsholáthar, ag laghdú go mór costais úinéireachta le linn úsáide. Ina theannta sin, tá teorainn uachtarach mór ag an mbád sileacain maidir le taisceadh polysilicon, rud a d'fhéadfadh minicíocht trealaimh PM a laghdú go héifeachtach agus cumas táirgthe a fheabhsú.
Is iompróir sliseog nuálach, saindeartha, é Semicorex Silicon Wafer Boat. Cruthaítear go sonrach é le haghaidh próiseála foirnéise ardteochta a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra, lena n-áirítear próisis ocsaídiúcháin agus laghdaithe ag teochtaí idir 1200 agus 1250 °C. Agus buntáistí feidhmíochta nach bhfuil ar fáil in ábhar chomhdhúile sileacain (SiC), soláthraíonn an Bád Wafer Sileacain buntáistí a bhaineann leis na próisis dhian a éilíonn déantúsaíocht leathsheoltóra. Gcéad dul síos, tá íonacht ultra-ard an ábhair sileacain suntasach; i ndáiríre, anábhar sileacainleibhéil ultra-ard-íonachta os cionn 9N (99.9999999%) a bhaint amach, rud a chinntíonn nach ndéanfaidh aon eisíontais mhiotalacha nó eachtrannacha próiseáil sliseog a thruailliú. Tá sé seo ríthábhachtach do dhéantúsaíocht fheiste leathsheoltóra cheannródaíoch áit a mbíonn tionchar mór ag éilliú ar iontaofacht feidhmíochta agus ar tháirgeacht. Soláthraíonn Bád Wafer Sileacain timpeallacht ultra-ghlan le leibhéal ard íonachta atá oiriúnach do na ceanglais tionscail is úire maidir le láimhseáil sliseog atá faoi lé teochtaí an-ard le haghaidh próiseála ocsaídiúcháin agus laghdaithe.
Buntáiste eile a bhaineann leis anábhar sileacainan bhfuil a chuid airíonna cruas níos ísle i gcomparáid le hábhar SiC. Is eol do bharraí nó báid SiC mar gheall ar chruas agus neart, ach is féidir deacrachtaí a bheith mar thoradh ar an maoin féin le linn próiseála sliseog. Ag teochtaí arda, bogfaidh na sliseoga micrea; Preabfaidh siad beagán, aistreoidh siad beagán, agus dlúith imeall agus iad laistigh den bhád. Is féidir le hábhar SiC níos deacra a bheith ina rioscaí níos airde maidir le cáithníní nó scratches a ghiniúint ar chúl an wafer mar a idirghníomhaíonn airíonna an sliseog agus an bháid faoi na coinníollacha próiseála ardteochta seo.
Maolaíonn an Bád Silicon Wafer an imní seo trí leas a bhaint as carachtar measartha bog sileacain maidir le SiC. Ceadaíonn an laghdú ar chruas níos lú cuimilte agus strus meicniúil araon nuair a théann sliseoga i dteagmháil leis an mbád le linn timthriallta teirmeacha. Mar thoradh air sin, gintear cáithníní chomh minic agus laghdaítear an baol scratches backside go beagnach nialas. Ina theannta sin, trí lochtanna dromchla a íoslaghdú, feabhsaíonn an Bád Wafer Sileacain cáilíocht laitíse go díreach agus ardaíonn sé ráta cáilíochta iomlán na sliseog próiseáilte. Maidir le fabraicí leathsheoltóra atá ag iarraidh táirgeacht a fheabhsú le rialú cáilíochta uasta, is rogha tarraingteach an bád sileacain mar gheall ar an staid feidhmíochta seo.
Tairgeann sileacain cobhsaíocht mhaith agus neart meicniúil ag teochtaí arda, rud a ligeann don bhád freastal go hiontaofa le linn timthriallta foirnéise arís agus arís eile. Téann an t-ábhar i gcoinne cogaíochta le linn timthriallta teasa agus fuaraithe, agus mar sin coinníonn sé socrúchán beacht wafer agus lamháltas suite fiú le linn timthriallta foirnéise tapa. Soláthraíonn an stóinseacht theirmeach seo torthaí próisis iontaofa atá comhsheasmhach go leor le haghaidh táirgeadh ardtoirte le héagsúlacht íosta idir rití. Tógtar an Bád Wafer Sileacain le cruinneas ardtoiseach chun suíomh agus socrúchán sliseog comhsheasmhach a chinntiú. Déantar an bád a mhonarú ag baint úsáide as meaisínithe chun cinn agus snasta chun dromchlaí mín, céimseata dlúth agus lamháltais daingean a chruthú.