Is iompróir graifít ultra-íon ardchaighdeáin é Pláta Silicon Etch Semicorex le haghaidh Feidhmchláir Eitseála PSS atá deartha go sonrach le haghaidh fáis epitaxial agus próisis láimhseála wafer. Is féidir lenár n-iompróir timpeallachtaí crua, teocht ard, agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh. Tá airíonna dáileadh teasa den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus tá sé éifeachtach ó thaobh costais ag an pláta eitseála sileacain d'iarratais eitseála PSS. Úsáidtear ár gcuid táirgí go forleathan i go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá, agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Déantar Pláta Silicon Etch Semicorex le haghaidh Feidhmchláir Eitseála PSS do na feidhmchláir trealaimh eipiteaxy is déine. Is féidir lenár n-iompróir graifíte ultra-íon timpeallachtaí crua, teocht ard, agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh. Tá airíonna dáileadh teasa den scoth ag an iompróir brataithe SiC, seoltacht ard teirmeach, agus tá sé éifeachtach ó thaobh costais.
Paraiméadair Pláta Sileacain Etch le haghaidh Feidhmchláir Eitseála PSS
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4-point) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Phláta Silicon Etch le haghaidh Feidhmchláir Eitseála PSS
- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí