Tá Tráidire Iompróir Eitseála PSS Semicorex le haghaidh Próiseáil Wafer deartha go sonrach le haghaidh feidhmchláir éilitheacha trealaimh epitaxy. Tá ár n-iompróir graifíte ultra-íon oiriúnach do chéimeanna taiscí scannáin thanaí cosúil le MOCVD, susceptors epitaxy, ardáin pancóg nó satailíte, agus próiseáil láimhseála sliseog mar eitseáil. Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh, airíonna dáileadh teasa den scoth, agus seoltacht ard teirmeach ag an Tráidire Iompróir Eitseála PSS le haghaidh Próiseáil Wafer. Tá ár gcuid táirgí éifeachtach ó thaobh costais agus tá buntáiste praghais maith acu. Freastalaímid ar go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Déantar an Tráidire Iompróir Eitseála PSS do Phróiseáil Wafer ó Semicorex a innealtóireacht le haghaidh timpeallachtaí crua a theastaíonn le haghaidh fáis epitaxial agus próisis láimhseála sliseog. Tá ár n-iompróir graifíte ultra-íon deartha chun tacú le sliseog le linn céimeanna sil-scannán tanaí cosúil le MOCVD agus susceptors epitaxy, pancóg nó ardáin satailíte. Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh ag an iompróir brataithe SiC, airíonna dáileadh teasa den scoth, agus seoltacht ard teirmeach. Tá ár gcuid táirgí éifeachtach ó thaobh costais agus cuireann siad buntáiste praghais maith ar fáil.
Paraiméadair Tráidire Iompróra Eitseála PSS le haghaidh Próiseáil Wafer
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Thráidire Iompróir Eitseála PSS le haghaidh Próiseáil Wafer
- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí