Déantar Iompróir Láimhseála PSS Semicorex le haghaidh Aistriú Wafer a innealtóireacht do na hiarratais trealaimh epitaxy is déine. Is féidir lenár n-iompróir graifíte ultra-íon timpeallachtaí crua, teocht ard, agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh. Tá airíonna dáileadh teasa den scoth ag an iompróir brataithe SiC, seoltacht ard teirmeach, agus tá sé éifeachtach ó thaobh costais. Úsáidtear ár gcuid táirgí go forleathan i go leor margaí Eorpacha agus Mheiriceá, agus táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Tá an tIompróir Láimhseála PSS le haghaidh Aistriú Wafer ó Semicorex deartha chun freastal ar na ceanglais ard-teocht agus dian glanadh ceimiceach le haghaidh fáis epitaxial agus próisis láimhseála sliseog. Tá ár n-iompróir graifíte ultra-íon oiriúnach do chéimeanna taiscí scannáin thanaí cosúil le MOCVD, susceptors epitaxy, ardáin pancóg nó satailíte, agus próiseáil láimhseála sliseog mar eitseáil. Tá airíonna dáileadh teasa den scoth ag an iompróir brataithe SiC, seoltacht ard teirmeach, agus tá sé éifeachtach ó thaobh costais.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár n-Iompróir Láimhseála PSS le haghaidh Aistriú Wafer.
Paraiméadair Iompróir Láimhseála PSS le haghaidh Aistriú Wafer
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Iompróir Láimhseála PSS le haghaidh Aistriú Wafer
- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí