Caithfidh iompróirí wafer a úsáidtear i bhfás epixial agus i bpróiseáil láimhseála sliseog teocht ard agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh. Iompróir Eitseála PSS Brataithe Semicorex SiC a ndearnadh innealtóireacht shonrach air do na feidhmchláir éilitheacha trealaimh eiteaxy seo. Tá buntáiste praghais maith ag ár gcuid táirgí agus clúdaíonn siad go leor de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Ní hamháin do chéimeanna sil-leagan scannáin tanaí mar epitaxy nó MOCVD, nó próiseáil láimhseála sliseog mar eitseáil, soláthraíonn Semicorex Iompróir Eitseála PSS Brataithe SiC ultra-íon a úsáidtear chun tacú le sliseog. I plasma etch nó eitse tirim, cuirtear an trealamh seo, susceptors epitaxy, pancóg nó ardáin satailíte don MOCVD, faoi réir na timpeallachta taiscí den chéad uair, agus mar sin tá ardteas ard agus friotaíocht creimeadh aige. Tá seoltacht ard teirmeach ag an Iompróir Eitseála PSS Brataithe SiC freisin, agus airíonna dáileadh teasa den scoth.
Úsáidtear iompróirí eitseála PSS (Substráit Sapphire Patterned) atá brataithe le SiC agus feistí LED (Dé-óid Astaithe Solais) á ndéanamh. Feidhmíonn an t-iompróir etch PSS mar shubstráit le haghaidh fás scannán tanaí nítríde Gailliam (GaN) a fhoirmíonn an struchtúr LED. Ansin baintear an t-iompróir etch PSS as an struchtúr LED ag baint úsáide as próiseas eitseála fliuch, ag fágáil taobh thiar de dhromchla patrún a chuireann le héifeachtúlacht eastóscadh solais an stiúir.
Paraiméadair Iompróra Eitseála PSS Brataithe le SiC
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe d'Iompróir Eitseála PSS Brataithe SiC ardíonachta
- Tá dlús maith ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain araon agus is féidir ról cosanta maith a imirt i dtimpeallachtaí oibre ardteochta agus creimneach.
- Tá maoile dromchla an-ard ag an sopóir brataithe cairbíde sileacain a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair.
- Laghdaigh an difríocht i gcomhéifeacht leathnú teirmeach idir an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, feabhas a chur go héifeachtach ar an neart nasctha chun scoilteadh agus dílamadh a chosc.
- Tá seoltacht ard teirmeach ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, agus tá airíonna dáileadh teasa den scoth.
- Leáphointe ard, friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard, friotaíocht creimeadh.