Leictreoidí cuartha sileacain

Le linn an trealaimh chun cinn eitse, is gnách go bhfuil an leictreoid cuartha sileacain suite ar bharr an tseomra eitseála, ag féachaint i dtreo an wafer leathsheoltóra. Is gnách go n-oibríonn an leictreoid cuartha sileacain i gcomhar leis an chuck leictreastatach, fáinne fócas Si, fáinne imeall Si, fáinne sceite Si, agus fáinne sciath Si chun na coinníollacha oibriúcháin is fearr is féidir a sholáthar le haghaidh eitseála ardchruinneas.

Feidhmeanna leictreoidí cuartha sileacain Semicorex

1. Ag luí le heitseáil struchtúr casta 3D

Le cumas rialaithe réimse leictreach 3D eisceachtúla, Semicorexleictreoidí cuartha sileacainis féidir a mheaitseáil go foirfe le tréithe geoiméadracha na struchtúr casta. Cuireann an dearadh cuartha speisialta ar chumas rialú plasma beacht agus dáileadh fuinnimh optamaithe, a chuireann isteach go mór ar an gcóimheas gné agus ingearachacht an bhalla taobh d'eitseáil struchtúir 3D agus go gcomhlíonann sé go hiomlán riachtanais líne táirgeachta próisis pacáistithe chun cinn agus comhtháthú 3D IC.

2. Rialú Beacht ar Dháileadh Gáis Etch

Gné leictreoidí cuartha sileacain Semicorex il micrea-phoill a dháileadh go haonfhoirmeach ar a ndromchla chun gás eitseála dul isteach sa seomra eitseála. Is féidir le leictreoidí cuartha sileacain Semicorex rialú beacht a bhaint amach ar ghás eitse agus ligean dó a dháileadh go haonfhoirmeach sa seomra eitseála, rud a íoslaghdaíonn éagsúlachtaí próisis de bharr dáileadh gáis neamh-éide.

Buntáistí leictreoidí cuartha sileacain Semicorex

1. Ultra-ard íonachta

Tá leictreoidí cuartha sileacain Semicorex déanta as aon-criostail ultra-ard-íonachtasileacainle leibhéal íonachta os cionn 99.9999999%, ag tairiscint friotaíocht níos fearr ar chreimeadh plasma. Is féidir leis an roghnú ábhar ard-chaighdeán seo éilliú nach dteastaíonn a eascraíonn as seachtháirgí eitseála a sheachaint go héifeachtach agus ag an am céanna síneadh suntasach a dhéanamh ar shaol seirbhíse na leictreoidí cuartha sileacain.

2. Airíonna leictreacha den scoth

Déanta as sileacain aonchriostail a fhástar MCZ, taispeánann leictreoidí cuartha sileacain Semicorex aonfhoirmeacht sármhaith friotachais: ＜5%, agus raon leathan friotachais in-roghnaithe: res íseal. (<0.02), res lár. (1–4), agus líon ard. (70–90).

3. Cruinneas próiseála cruinneas

Trí phróiseáil mheicniúil ard-chruinneas, baintear amach leictreoidí cuartha sileacain Semicorex méid pore comhsheasmhach agus dáileadh aonfhoirmeach poll. Tá a ndromchlaí mínsnasta agus meilte: snasta (Ra < 0.1 μm) agus talamh (Ra < 1.6 μm), le cruinneas iomlán meaisínithe rialaithe laistigh de 0.03 mm.