Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
|
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
|
Struchtúr |
|
FCC β céim |
|
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
|
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
|
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
|
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
|
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
|
Méid Grán |
μm |
2~10 |
|
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
|
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
|
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Nuair a thagann sé le déantúsaíocht leathsheoltóra, is é an Susceptor Bairille SiC-Brataithe Ard-Teocht Semicorex an rogha is fearr le haghaidh feidhmíocht agus iontaofacht níos fearr. Mar gheall ar a sciath SiC ardcháilíochta agus seoltacht theirmeach eisceachtúil, tá sé oiriúnach le húsáid sna timpeallachtaí ardteochta agus creimneach is déine fiú.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánLeis an pointe leá ard, friotaíocht ocsaídiúcháin, agus friotaíocht creimeadh, is é an Susceptor Bairille Brataithe Semicorex SiC an rogha iontach le húsáid in iarratais fáis criostail aonair. Soláthraíonn a sciath chomhdhúile sileacain maoile eisceachtúla agus airíonna dáileadh teasa, rud a chinntíonn feidhmíocht iontaofa agus comhsheasmhach fiú sna timpeallachtaí ardteochta is déine.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánMá tá tú ag lorg susceptor graifíte ardcháilíochta atá brataithe le SiC ard-íonachta, is é an Susceptor Bairille Semicorex le SiC Cumhdach i Leathsheoltóra an rogha iontach. Mar gheall ar a seoltacht theirmeach eisceachtúil agus airíonna dáileacháin teasa tá sé iontach le húsáid in iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánLeis an dlús níos fearr agus a seoltacht theirmeach, is é an Susceptor Bairille Brataithe Semicorex SiC le haghaidh Fás Epitaxial an rogha iontach le húsáid i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach. Brataithe le SiC ard-íonachta, soláthraíonn an táirge graifít seo cosaint agus dáileadh teasa den scoth, ag cinntiú feidhmíocht iontaofa agus comhsheasmhach in iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs é an Susceptor Bairille Brataithe Semicorex SiC le haghaidh Wafer Epitaxial an rogha iontach d'fheidhmchláir fáis criostail aonair, a bhuíochas dá dhromchla árasán atá thar a bheith cothrom agus sciath SiC ardchaighdeáin. Is rogha iontach é a leáphointe ard, a fhriotaíocht ocsaídiúcháin agus a fhriotaíocht creimeadh le húsáid i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneach.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs táirge graifíte den scoth é an Bairille Imoibreora Eipiteacsach Brataithe Semicorex SiC atá brataithe le SiC ardíonachta. Mar gheall ar a dhlús den scoth agus seoltacht theirmeach tá sé ina rogha iontach le húsáid i bpróisis LPE, ag soláthar dáileadh teasa eisceachtúil agus cosaint i dtimpeallachtaí creimneach agus ardteochta.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán