Leis an dlús den scoth agus seoltacht theirmeach, is é an Susceptor Bairille Brataithe SiC-Sicorex Durable an rogha iontach le húsáid i bpróisis epitaxial agus iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra eile. Soláthraíonn a sciath SiC ard-íonachta cosaint níos fearr agus airíonna dáileadh teasa, rud a fhágann gurb é an rogha is fearr le haghaidh torthaí iontaofa agus comhsheasmhach.
Má theastaíonn súdóir graifíte ardcháilíochta uait a bhfuil friotaíocht teasa agus creimeadh níos fearr aige, féach ar bith níos faide ná an Susceptor Bairille Brataithe SiC-Sicorex Durable. Soláthraíonn a sciath chomhdhúile sileacain seoltacht teirmeach eisceachtúil agus dáileadh teasa, rud a chinntíonn feidhmíocht iontaofa agus comhsheasmhach fiú sna timpeallachtaí ardteochta is déine.
Tá ár Susceptor Bairille Brataithe SiC Durable deartha chun an patrún sreafa gáis lannach is fearr a bhaint amach, ag cinntiú go bhfuil próifíl teirmeach cothrom. Cuidíonn sé seo le haon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí a chosc, ag cinntiú fás epitaxial ardcháilíochta ar an sliseanna wafer.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár Susceptor Bairille CRUA-BHAOTHAITHE SIC.
Paraiméadair Suimdeora Bairille CRUA-bhrataithe SiC
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Susceptor Bairille CRUA-brataithe SiC
- Tá dlús maith ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain araon agus is féidir ról cosanta maith a imirt i dtimpeallachtaí oibre ardteochta agus creimneach.
- Tá maoile dromchla an-ard ag an sopóir brataithe cairbíde sileacain a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair.
- Laghdaigh an difríocht i gcomhéifeacht leathnú teirmeach idir an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, feabhas a chur go héifeachtach ar an neart nasctha chun scoilteadh agus dílamadh a chosc.
- Tá seoltacht ard teirmeach ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, agus tá airíonna dáileadh teasa den scoth.
- Leáphointe ard, friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard, friotaíocht creimeadh.