Réiteach an-iontaofa do phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra is ea Bairille Susceptor Brataithe SiC Semicorex do Sheomra Imoibreora Epitaxial, a bhfuil dáileadh teasa agus airíonna seoltachta teirmeach níos fearr aige. Tá sé an-resistant freisin do chreimeadh, ocsaídiú, agus teocht ard.
Is táirge ardcháilíochta é Bairille Susceptor Brataithe SiC Semicorex do Sheomra Imoibreora Eipitaxial, a mhonaraítear ar na caighdeáin is airde cruinneas agus marthanachta. Cuireann sé seoltacht teirmeach den scoth, friotaíocht creimeadh, agus tá sé an-oiriúnach don chuid is mó d'imoibreoir epitaxial i ndéantúsaíocht leathsheoltóra.
Tá ár mBairille Suimeartha Brataithe SiC le haghaidh Seomra Imoibreora Epitaxial deartha chun an patrún sreafa gáis lannach is fearr a bhaint amach, ag cinntiú cothroime próifíl teirmeach. Cuidíonn sé seo le haon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí a chosc, ag cinntiú fás epitaxial ardcháilíochta ar an sliseanna wafer.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár mBairille Susceptor Brataithe SiC don Seomra Imoibreora Epitaxial.
Paraiméadair an Bhairille Suiseora Brataithe SiC don Seomra Imoibreora Eipiteaiseach
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Bhairille Susceptor Brataithe SiC le haghaidh Seomra Imoibreora Epitaxial
- Tá dlús maith ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain araon agus is féidir ról cosanta maith a imirt i dtimpeallachtaí oibre ardteochta agus creimneach.
- Tá maoile dromchla an-ard ag an súdóir brataithe cairbíde sileacain a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair.
- Laghdaigh an difríocht i gcomhéifeacht leathnú teirmeach idir an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, feabhas a chur go héifeachtach ar an neart nasctha chun scoilteadh agus dílamadh a chosc.
- Tá seoltacht ard teirmeach ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, agus tá airíonna dáileadh teasa den scoth.
- Leáphointe ard, friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard, friotaíocht creimeadh.