Má theastaíonn susceptor graifíte uait atá in ann feidhmiú go hiontaofa agus go comhsheasmhach fiú sna timpeallachtaí ardteochta agus creimneach is déine, is é an Susceptor Bairille Semicorex do Chéim Leachtach Epitaxy an rogha iontach. Soláthraíonn a sciath chomhdhúile sileacain seoltacht teirmeach den scoth agus dáileadh teasa, rud a chinntíonn feidhmíocht eisceachtúil in iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra.
Is é an Susceptor Bairille Semicorex do Chéim Leachtach Epitaxy an rogha tosaigh d'iarratais déantúsaíochta leathsheoltóra a dteastaíonn ard-teas agus friotaíocht creimeadh orthu. Soláthraíonn a sciath SiC ard-íonachta agus seoltacht theirmeach eisceachtúil airíonna cosanta agus dáileadh teasa níos fearr, ag cinntiú feidhmíocht iontaofa agus comhsheasmhach sna timpeallachtaí is dúshlánaí fiú.
Tá ár Susceptor Bairille le haghaidh Epitaxy Céim Leachtacha deartha chun an patrún sreafa gáis laminar is fearr a bhaint amach, ag cinntiú go bhfuil próifíl teirmeach cothrom. Cuidíonn sé seo le haon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí a chosc, ag cinntiú fás epitaxial ardcháilíochta ar an sliseanna wafer.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár Susceptor Bairille le haghaidh Epitaxy Chéim Leachtach.
Paraiméadair Susceptor Bairille le haghaidh Epitaxy Chéim Leachtach
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Susceptor Bairille le haghaidh Epitaxy Céim Leachtach
- Tá dlús maith ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain araon agus is féidir ról cosanta maith a imirt i dtimpeallachtaí oibre ardteochta agus creimneach.
- Tá maoile dromchla an-ard ag an sopóir brataithe cairbíde sileacain a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair.
- Laghdaigh an difríocht i gcomhéifeacht leathnú teirmeach idir an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, feabhas a chur go héifeachtach ar an neart nasctha chun scoilteadh agus dílamadh a chosc.
- Tá seoltacht ard teirmeach ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, agus tá airíonna dáileadh teasa den scoth.
- Leáphointe ard, friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard, friotaíocht creimeadh.