Leis an leáphointe ard, a fhriotaíocht ocsaídiúcháin, agus a fhriotaíocht creimeadh, is é an Susceptor Fáis Criostail Semicorex SiC-Coated an rogha iontach le húsáid in iarratais fáis criostail aonair. Soláthraíonn a sciath chomhdhúile sileacain maoile den scoth agus airíonna dáileadh teasa, rud a fhágann gur rogha iontach é do thimpeallachtaí ardteochta.
Is é an Susceptor Fáis Criostail Semicorex-Coated SiC an rogha iontach le haghaidh foirmiú ciseal epitaxial ar sliseog leathsheoltóra, a bhuíochas dá seoltacht theirmeach eisceachtúil agus airíonna dáileadh teasa. Soláthraíonn a sciath SiC ard-íonachta cosaint níos fearr fiú sna timpeallachtaí ardteochta agus creimneach is déine.
Tá ár Susceptor Fáis Criostail SiC-Brataithe deartha chun an patrún sreafa gáis lannach is fearr a bhaint amach, ag cinntiú go bhfuil próifíl theirmeach cothrom. Cuidíonn sé seo le haon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí a chosc, ag cinntiú fás epitaxial ardcháilíochta ar an sliseanna wafer.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár Susceptor Fáis Criostail SiC-Brataithe.
Paraiméadair an tSochdálaí Fáis Criostail SiC-Brataithe
|
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
|
Airíonna SiC-CVD |
||
|
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
|
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
|
Méid Grán |
μm |
2~10 |
|
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
|
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
|
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
|
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
|
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
|
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Susceptor Fáis Criostail SiC-Brataithe
- Tá dlús maith ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain araon agus is féidir ról cosanta maith a imirt i dtimpeallachtaí oibre ardteochta agus creimneach.
- Tá maoile dromchla an-ard ag an sopóir brataithe cairbíde sileacain a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair.
- Laghdaigh an difríocht i gcomhéifeacht leathnú teirmeach idir an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, feabhas a chur go héifeachtach ar an neart nasctha chun scoilteadh agus dílamadh a chosc.
- Tá seoltacht ard teirmeach ag an tsubstráit graifíte agus an ciseal chomhdhúile sileacain, agus tá airíonna dáileadh teasa den scoth.
- Leáphointe ard, friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard, friotaíocht creimeadh.





