Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Is iompróir den scoth é Semicorex MOCVD Satellite Holder Plate atá deartha le húsáid sa tionscal leathsheoltóra. Mar gheall ar a íonacht ard, a fhriotaíocht creimeadh den scoth, agus fiú próifíl theirmeach tá sé ina rogha iontach dóibh siúd atá ag lorg iompróir atá in ann éilimh an phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra a sheasamh. Táimid tiomanta do tháirgí ardcháilíochta a chomhlíonann a gcuid riachtanas ar leith a sholáthar dár gcustaiméirí. Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár bPláta Sealbhóir Satailíte MOCVD agus conas is féidir linn cabhrú leat le do riachtanais déantúsaíochta leathsheoltóra.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs féidir leat a bheith cinnte a cheannach SiC Coating Graphite Substrate Substrate Carriers do MOCVD ónár mhonarcha. Ag Semicorex, tá muid ag monaróir ar scála mór agus soláthraí Susceptor Graphite Brataithe SiC sa tSín. Tá buntáiste praghais maith ag ár dtáirge agus clúdaíonn sé go leor de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Déanaimid ár ndícheall táirgí ardchaighdeáin a chomhlíonann a gcuid riachtanas ar leith a sholáthar dár gcustaiméirí. Is rogha iontach é ár n-Iomaróir Wafer Foshraith Grafite Coating SiC do MOCVD dóibh siúd atá ag lorg iompróir ardfheidhmíochta dá bpróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs iompróirí ar chaighdeán níos fearr a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra iad na Gabhdóirí Bonn Graifíte Brataithe Semicorex SiC do MOCVD. Tá ár dtáirge deartha le cairbíd sileacain ardchaighdeáin a sholáthraíonn feidhmíocht den scoth agus marthanacht fada buan. Tá an t-iompróir seo oiriúnach le húsáid sa phróiseas chun ciseal epitaxial a fhás ar an sliseanna wafer.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs táirgí ardcháilíochta a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra iad Susceptors Semicorex do Imoibritheoirí MOCVD le haghaidh feidhmeanna éagsúla cosúil le sraitheanna chomhdhúile sileacain agus leathsheoltóra epitaxy. Tá ár dtáirge ar fáil i bhfearas nó i gcruth fáinne agus tá sé deartha chun friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta a bhaint amach, rud a fhágann go bhfuil sé cobhsaí ag teochtaí suas le 1600 ° C.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs féidir leat a bheith cinnte a cheannach Silicon Epitaxy Susceptors ónár mhonarcha. Is táirge ardcháilíochta, ard-íonachta é Semicorex's Silicon Epitaxy Susceptor a úsáidtear sa tionscal leathsheoltóra le haghaidh fás epitaxial ar an sliseanna wafer. Tá teicneolaíocht sciath níos fearr ag ár dtáirge a chinntíonn go bhfuil an sciath i láthair ar gach dromchla, rud a choscann feannadh. Tá an táirge cobhsaí ag teochtaí arda suas le 1600 ° C, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid i dtimpeallachtaí foircneacha.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs monaróir agus soláthraí tosaigh SiC Susceptor do MOCVD é Semicorex. Tá ár dtáirge deartha go speisialta chun freastal ar riachtanais an tionscail leathsheoltóra agus an ciseal epitaxial ag fás ar an sliseanna wafer. Úsáidtear an táirge mar lárphláta i MOCVD, le dearadh fearas nó fáinne-chruthach. Tá friotaíocht ard teasa agus creimeadh aige, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid i dtimpeallachtaí foircneacha.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán