Is ciseal tanaí é an sciath SiC ar an susceptor tríd an bpróiseas sil-leagan ceimiceach gaile (CVD). Soláthraíonn ábhar chomhdhúile sileacain roinnt buntáistí thar sileacain, lena n-áirítear 10x an neart réimse leictrigh miondealaithe, 3x an bhearna banna, a sholáthraíonn an t-ábhar le teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth chomh maith le seoltacht teirmeach.
Soláthraíonn Semicorex seirbhís shaincheaptha, cuidíonn leat a bheith nuálaíoch le comhpháirteanna a mhaireann níos faide, a laghdaíonn amanna timthriallta, agus a fheabhsaíonn torthaí.
Tá roinnt buntáistí uathúla ag baint le sciath SiC
Friotaíocht Ardteochta: Is féidir le súdóir brataithe CVD SiC teochtaí arda suas le 1600 ° C a sheasamh gan dul faoi dhíghrádú suntasach teirmeach.
Friotaíocht Cheimiceach: Soláthraíonn an sciath chomhdhúile sileacain friotaíocht den scoth do raon leathan ceimiceán, lena n-áirítear aigéid, alcailí, agus tuaslagóirí orgánacha.
Friotaíocht Caithimh: Soláthraíonn an sciath SiC friotaíocht caitheamh den scoth don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir a bhaineann le caitheamh agus cuimilt ard.
Seoltacht Teirmeach: Soláthraíonn an sciath CVD SiC seoltacht ard teirmeach don ábhar, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le húsáid in iarratais ardteochta a dteastaíonn aistriú teasa éifeachtach uathu.
Ard-neart agus stiffness: Soláthraíonn an t-ábhar brataithe carbide sileacain an t-ábhar ard-neart agus stiffness, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a dteastaíonn neart meicniúil ard orthu.
Úsáidtear sciath SiC in iarratais éagsúla
Déantúsaíocht LED: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC i ndéantúsaíocht próiseáilte de chineálacha éagsúla LED, lena n-áirítear stiúir gorm agus glas, LED UV agus LED domhain-UV, mar gheall ar a seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht ceimiceach.
Cumarsáid shoghluaiste: Is cuid ríthábhachtach den HEMT é susceptor brataithe CVD SiC chun an próiseas epitaxial GaN-on-SiC a chríochnú.
Próiseáil Leathsheoltóra: Úsáidtear susceptor brataithe CVD SiC sa tionscal leathsheoltóra d'iarratais éagsúla, lena n-áirítear próiseáil wafer agus fás epitaxial.
Comhpháirteanna graifíte brataithe SiC
Déanta ag graifít Cumhdach Sileacain Carbide (SiC), cuirtear an sciath i bhfeidhm trí mhodh CVD ar ghráid shonracha graifíte ard-dlúis, ionas gur féidir é a oibriú san fhoirnéis ardteochta le níos mó ná 3000 ° C in atmaisféar támh, 2200 ° C i bhfolús. .
Ceadaíonn airíonna speisialta agus mais íseal an ábhair rátaí téimh tapa, dáileadh teocht aonfhoirmeach agus cruinneas gan íoc i gceannas.
Sonraí ábhartha maidir le Cumhdach Semicorex SiC
Airíonna tipiciúla |
Aonaid |
Luachanna |
Struchtúr |
|
FCC β céim |
Treoshuíomh |
Codán (%) |
111 fearr |
Dlús mórchóir |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Leathnú teirmeach 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Conclúid Is ábhar ilchodach é susceptor brataithe CVD SiC a chomhcheanglaíonn airíonna susceptor agus chomhdhúile sileacain. Tá airíonna uathúla ag an ábhar seo, lena n-áirítear teocht ard agus friotaíocht ceimiceach, friotaíocht caitheamh den scoth, seoltacht teirmeach ard, agus ard-neart agus stiffness. Déanann na hairíonna seo ábhar tarraingteach d'iarratais ardteochta éagsúla, lena n-áirítear próiseáil leathsheoltóra, próiseáil cheimiceach, cóireáil teasa, déantúsaíocht cealla gréine, agus déantúsaíocht LED.
Is é Pláta Iompróir Grafite RTP Semicorex an réiteach foirfe d'iarratais próiseála wafer leathsheoltóra, lena n-áirítear fás epitaxial agus próiseáil láimhseála wafer. Tá ár dtáirge deartha chun friotaíocht teasa níos fearr agus aonfhoirmeacht theirmeach a thairiscint, ag cinntiú go bhfuil na híogairí epitaxy faoi réir na timpeallachta taiscí, le friotaíocht ard teasa agus creimeadh.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánCuireann Iompróir Cumhdach Semicorex RTP SiC friotaíocht teasa níos fearr agus aonfhoirmeacht teirmeach ar fáil, rud a fhágann gurb é an réiteach foirfe é d'iarratais próiseála wafer leathsheoltóra. Leis an graifít SiC ardcháilíochta atá brataithe aige, tá an táirge seo deartha chun an timpeallacht sil-leagan is géire d’fhás epitaxial a sheasamh. Cinntíonn seoltacht ard teirmeach agus airíonna dáileacháin teasa den scoth feidhmíocht iontaofa do RTA, RTP, nó glanadh ceimiceach crua.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánDéantar Iompróir Cumhdach Semicorex RTP/RTA SiC a innealtóireacht chun na coinníollacha is deacra a sheasamh i dtimpeallacht na sil-leagain. Leis an teas ard agus friotaíocht creimeadh, tá an táirge seo deartha chun an fheidhmíocht is fearr a sholáthar d'fhás epitaxial. Tá seoltacht ard teirmeach ag an iompróir brataithe SiC agus airíonna dáileadh teasa den scoth, rud a chinntíonn feidhmíocht iontaofa do RTA, RTP, nó do ghlanadh ceimiceach crua.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánTairgeann Pláta Iompróir RTP Semicorex SiC Graphite do MOCVD friotaíocht teasa níos fearr agus aonfhoirmeacht teirmeach, rud a fhágann gurb é an réiteach foirfe é d'iarratais próiseála wafer leathsheoltóra. Le graifít ardcháilíochta atá brataithe le SiC, déantar an táirge seo a innealtóireacht chun an timpeallacht sil-leagan is géire d’fhás epitaxial a sheasamh. Cinntíonn seoltacht ard teirmeach agus airíonna dáileacháin teasa den scoth feidhmíocht iontaofa do RTA, RTP, nó glanadh ceimiceach crua.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs é Pláta Iompróir RTP Brataithe Semicorex SiC le haghaidh Fás Epitaxial an réiteach foirfe d'iarratais próiseála wafer leathsheoltóra. Agus a chumhdaitheoirí graifíte carbóin ardcháilíochta agus na breogáin Grianchloch arna bpróiseáil ag MOCVD ar dhromchla graifít, criadóireacht, etc., tá an táirge seo iontach le haghaidh láimhseáil wafer agus próiseáil fáis epitaxial. Cinntíonn an t-iompróir brataithe SiC seoltacht teirmeach ard agus airíonna dáileadh teasa den scoth, rud a fhágann gur rogha iontaofa é do RTA, RTP, nó do ghlanadh ceimiceach crua.
Leigh Nios moSeol FiosrúchánIs monaróir agus soláthraí ar scála mór é Semicorex Susceptor Graphite Brataithe Silicon Carbide sa tSín. Suceptor graifít Semicorex innealtóireacht go sonrach le haghaidh trealamh epitaxy le friotaíocht ard teasa agus creimeadh sa tSín. Tá buntáiste praghais maith ag ár Iompróir Brataithe RTP RTA SiC agus clúdaíonn sé go leor de na margaí Eorpacha agus Mheiriceá. Táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach.
Leigh Nios moSeol Fiosrúchán