Páirteanna breise i bhFás Epitaxial

Tá Páirteanna Spártha Semicorex i bhFás Epitaxial fíorthábhachtach, go háirithe do phróisis a bhaineann le feadáin Grianchloch a shocrú. Tá na codanna seo riachtanach chun sreabhadh gáis a éascú chun rothlú bonn tráidire a thiomáint agus rialú teochta beacht a chinntiú ar fud an phróisis fáis epitaxial. Déantar Páirteanna Spártha Semicorex i bhFás Epitaxial, ar a dtugtar leathchodanna de ghnáth, a innealtóireacht go cúramach chun teochtaí arda agus timpeallachtaí creimneach atá bunúsach i ndlísheomraí fáis epitaxial a sheasamh. Tógtha as Silicon Carbide (SiC), tairgeann siad cobhsaíocht theirmeach agus cheimiceach eisceachtúil, rud a fhágann gurb iad an rogha iontach iad d'iarratais éilitheacha den sórt sin. Cinntíonn úsáid SiC go bhfuil na codanna seo in ann na coinníollacha is dúshlánaí a sheasamh fiú.

Tá Páirteanna breise i bhFás Epitaxial cosúil le cruth gealaí corráin, atá deartha chun luí go snugly laistigh den tionól feadáin Grianchloch. Ligeann a gcumraíocht uathúil leath-ghealach iad a chur isteach go héasca agus a bhaint as an gcóras, ag éascú nósanna imeachta cothabhála agus athsholáthair le héifeachtacht agus le cruinneas.

Freastalaíonn Páirteanna breise i bhFás Eipiteach. Ar an gcéad dul síos, cabhraíonn siad le seachadadh rialaithe gás atá riachtanach don phróiseas fáis epitaxial. Trí rátaí sreafa gáis agus dáileadh a rialáil, cinntíonn siad go ndéantar ábhair leathsheoltóra a thaisceadh go haonfhoirmeach ar dhromchla an tsubstráit, rud atá ríthábhachtach chun airíonna ábhar inmhianaithe agus feidhmíocht gléas a bhaint amach.

Cuireann Páirteanna breise i bhFás Epitaxial le gluaiseacht rothlach bonn an tráidire laistigh den seomra fáis. Tá an rothlú seo ríthábhachtach chun dáileadh cothrom na n-ábhar taiscthe a chur chun cinn, rud a chosc ar fhoirmiú neamhrialtachtaí nó lochtanna sna sraitheanna epitaxial.