Iompróirí sliseog brataithe SIC

Is comhpháirteanna ardleibhéil iad iompróirí wafer brataithe Semicorex SIC a thacaíonn le sliseoga do phróisis ardteochta in iarratais leathsheoltóra amhail fás eipiciúil, idirleathadh, agus CVD. Soláthraíonn na hiompróirí buntáistí struchtúracha ó ghraifít ard-íonachta in éineacht le huas-shochair dromchla trí úsáid a bhaint as dlúth agus éideSciath sicMaidir le cobhsaíocht theirmeach is fearr, friotaíocht cheimiceach, agus neart meicniúil faoi choinníollacha próiseála dian.

Croí graifít ard-íonachta don seoltacht teirmeach is fearr is féidir

Is ábhar foshraithe iad na hiompróirí sliseog brataithe SIC de ghrain ultra-fíneáil, graifít ard-íonachta. Is seoltóir teirmeach éifeachtach é, agus é éadrom agus in -mheaisínithe, is féidir é a dhéanamh i gcéimsíochtaí casta a éilíonn na fachtóirí uathúla agus próisis uathúla. Tairgeann graifít téamh aonfhoirmeach ag dromchla an tsleasa a chuireann teorainn le grádáin theirmeacha agus le lochtanna próiseála teirmeacha.

Cumhdach dlúth SIC do Chosaint Dromchla agus Comhoiriúnacht Próisis

Tá an t -iompróir graifít brataithe le íonacht ard, cairbíd sileacain CVD. Soláthraíonn an sciath SIC cosaint neamh -thréscaoilteach, saor in aisce in aghaidh creimthe, ocsaídiúcháin agus éilliú gáis ó speicis amhail hidrigin, clóirín agus silane. Is é an toradh deiridh ná iompróir íseal-rannpháirteach, diana nach ndéanann díghrádú nó a chailleann cobhsaíocht tríthoiseach, a roghnaíonn go leor timthriallta teirmeacha agus is ionann é agus poitéinseal laghdaithe go mór le haghaidh éilliú sliseog.

Sochair agus príomhghnéithe

Friotaíocht theirmeach: Tá bratuithe SIC cobhsaí le teochtaí níos mó ná 1600 ° C, atá optamaithe le haghaidh riachtanais ardteochta agus riachtanais idirleata.

Frithsheasmhacht cheimiceach den scoth: Seasann sé do gach gás próisis creimneach agus ceimiceáin glantacháin, agus ceadaíonn sé saol níos faide agus níos lú ama neamhfhónaimh.

Giniúint na gcáithníní ísle: Laghdaíonn an dromchla SIC scealpadh agus shedding na gcáithníní, agus coinníonn sé an timpeallacht phróisis atá ríthábhachtach do thoradh na bhfeistí a ghlanadh.

Rialú toise: Innealtóireacht go beacht chun lamháltais a dhúnadh chun tacaíocht aonfhoirmeach a chinntiú ionas gur féidir é a láimhseáil go huathoibríoch le sliseoga.

Laghdú costais: Soláthraíonn timthriallta saoil níos faide agus riachtanais chothabhála níos ísle costas iomlán úinéireachta níos ísle (TCO) ná iompróirí graifíte traidisiúnta nó lom.

Iarratais:

Úsáidtear iompróirí sliseog brataithe SIC go forleathan chun leathsheoltóirí cumhachta a mhonarú, leathsheoltóirí cumaisc (mar shampla, SIC), MEMS, soilse, agus gléasanna eile a éilíonn próiseáil ardteochta i dtimpeallachtaí ceimiceacha ionsaitheach. Tá siad thar a bheith riachtanach in imoibreoirí epitaxial, áit a mbíonn tionchar díreach ag glaineacht dromchla, marthanacht, agus aonfhoirmeacht theirmeach ar chaighdeán sliseog agus ar éifeachtúlacht táirgthe.

Saincheapadh agus rialú cáilíochta

LeathbheoSic brataitheDéantar iompróirí wafer a tháirgeadh faoi phrótacail rialaithe cáilíochta dochta. Tá solúbthacht againn freisin le méideanna agus cumraíochtaí caighdeánacha, agus is féidir linn réitigh innealtóireachta saincheaptha a chomhlíonann riachtanais na gcustaiméirí. Cibé an bhfuil formáid sliseog 4-orlach nó 12 orlach agat is féidir linn iompróirí sliseog a bharrfheabhsú le haghaidh imoibreoirí cothrománacha nó ingearacha, próiseáil bhaisc nó sliseog aonair, agus oidis shonracha epitaxy.