Is é Graphite Brataithe Carbóin Sileacain ICP Semicorex an rogha iontach le haghaidh láimhseáil wafer éilitheach agus próisis sil-scannáin tanaí. Bródúil as ár dtáirge friotaíocht teasa agus creimeadh níos fearr, fiú aonfhoirmeacht teirmeach, agus patrúin sreabhadh gás lannaithe is fearr.
Caithfidh iompróirí wafer a úsáidtear i bpróiseáil fáis epitaxial teocht ard agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh. Déantar susceptóirí Graphite Brataithe Carbóin Sileacain Semicorex ICP a innealtóireacht go sonrach le haghaidh na bhfeidhmchláir éilitheacha trealaimh epitaxy seo. Déantar ár dtáirge a innealtóireacht chun teochtaí arda agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh, ag cinntiú fad saoil agus na torthaí is fearr.
Tá ár Graifít Brataithe Carbóin Sileacain ICP deartha chun an patrún sreafa gáis laminar is fearr a bhaint amach, ag cinntiú go bhfuil próifíl teirmeach cothrom. Cuidíonn sé seo le haon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí a chosc, ag cinntiú fás epitaxial ardcháilíochta ar an sliseanna wafer.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár ngraifít brataithe le carbón sileacain ICP.
Paraiméadair de Ghraifít Brataithe Carbóin Sileacain ICP
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de ICP Silicon Carbóin Brataithe Graphite
- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí