Soláthraíonn Pláta Eitseála Plasma ICP Semicorex teas agus friotaíocht creimeadh níos fearr le haghaidh láimhseáil sliseog agus próisis sil-scannáin tanaí. Déantar ár dtáirge a innealtóireacht chun teocht ard agus glanadh ceimiceach crua a sheasamh, ag cinntiú marthanacht agus fad saoil. Le dromchla glan agus réidh, tá ár n-iompróir foirfe chun sliseoga pristine a láimhseáil.
Nuair a bhaineann sé le taisceadh scannán tanaí agus láimhseáil sliseog, muinín as Pláta Eitseála Plasma ICP Semicorex. Cuireann ár dtáirge friotaíocht teasa agus creimeadh níos fearr ar fáil, fiú aonfhoirmeacht theirmeach, agus na patrúin sreafa gáis lannaithe is fearr. Le dromchla glan agus réidh, tá ár n-iompróir foirfe chun sliseoga pristine a láimhseáil.
Tá ár bPláta Eitseála Plasma ICP deartha chun an patrún sreafa gáis laminar is fearr a bhaint amach, ag cinntiú go bhfuil próifíl teirmeach cothrom. Cuidíonn sé seo le haon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí a chosc, ag cinntiú fás epitaxial ardcháilíochta ar an sliseanna wafer.
Déan teagmháil linn inniu chun tuilleadh a fhoghlaim faoinár bPláta Eitseála Plasma ICP.
Paraiméadair Phláta Eitseála Plasma ICP
Príomh-Sonraíochtaí Cumhdach CVD-SIC |
||
Airíonna SiC-CVD |
||
Struchtúr Criostail |
FCC β céim |
|
Dlús |
g/cm³ |
3.21 |
Cruas |
Vickers cruas |
2500 |
Méid Grán |
μm |
2~10 |
Íonacht Cheimiceach |
% |
99.99995 |
Cumas Teasa |
J kg- 1 K-1 |
640 |
Teocht sublimation |
℃ |
2700 |
Neart Felexural |
MPa (RT 4 phointe) |
415 |
Modal Óg |
Gpa (lúb 4pt, 1300 ℃) |
430 |
Leathnú Teirmeach (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Seoltacht theirmeach |
(W/mK) |
300 |
Gnéithe de Phláta Eitseála Plasma ICP
- Seachain scamhadh agus cinntigh sciath ar gach dromchla
Friotaíocht ocsaídiúcháin teocht ard: Cobhsaí ag teocht ard suas go dtí 1600 ° C
Ard-íonacht: déanta ag sil-leagan gaile ceimiceach CVD faoi choinníollacha clóirínithe teocht ard.
Friotaíocht creimeadh: cruas ard, dromchla dlúth agus cáithníní fíneáil.
Friotaíocht creimeadh: aigéad, alcaile, salann agus imoibrithe orgánacha.
- An patrún sreabhadh gáis laminar is fearr a bhaint amach
- Cothroime na próifíle teirmeach a ráthú
- Cosc a chur ar aon éilliú nó idirleathadh neamhíonachtaí