Iompróir sic do ICP

Innealtóireacht chun freastal ar na héilimh neamhghnácha a bhaineann le huirlisí Eitinne agus Sil -leagan nua -aimseartha nua -aimseartha, tugann iompróir graifíte leath -chaite le haghaidh ICP cothromaíocht neamhchoitianta athléimneachta plasma, cruinneas teirmeach agus cobhsaíocht mheicniúil. Tá foshraith ghraifít dhílseánaigh, dhílsithe ag a chroílár a bhfuil a threoshuíomh criostail á rialú go docht chun iompar neamhghnách anisotropic a tháirgeadh: sáraíonn seoltacht theirmeach in -eitleáin i bhfad níos mó gráid isostatic, agus tá an cosán trí phlána maolaithe d'aon turas chun spotaí te a chur i leataobh. Cinntíonn an bhainistíocht threo -sreafa seo go bhfaigheann gach duine bás thar 150mm go 300mm ag fulaingt rampáil teochta aonfhoirmeach agus cothromaíocht seasta -stáit, ag aistriú go díreach ina dháiltí níos cúinge criticiúil (CD) agus torthaí gléasanna níos airde.

Tá ciseal comhréireach sileacain -charbide comhchruinnithe thart ar an ngraifít ultra -phóirse seo atá comhchruinnithe i bhfoirnéis CVD ardteochta. Is é an sciath SIC - támh go dtí 2,000 ° C agus a bhfuil micrea -póirseacht níos lú ná 0.1%ann - a bhfuil sciath neamh -thréscaoilte aige i gcoinne fréamhacha fluairín, clóirín agus bróimín atá coitianta i gceimicí ard -dlúis ICP. Léirigh tástáil seasmhachta fhadtéarmacha i CF₄/O₂, Cl₂/BCL₃ agus HBR/HE plasmas rátaí creimthe faoi bhun 0.3µmper100 -uair, ag leathnú saol na seirbhíse iompróra i bhfad níos faide ná noirm an tionscail agus ag laghdú go mór ag an am céanna.

Tá cruinneas toise chomh neamhchoitianta céanna: déantar cothromaíocht dromchla a rialú laistigh de ± 5µm ar fud an limistéir phoillte ar fad, agus tá gnéithe eisiaimh imeall le léasair chun an t -imlíne sliseog a chosaint ó mhicrea -armú. Cuireann caoinfhulaingt daingean, mar aon le cruas gar -dhéithigh an sciath Sic, in aghaidh giniúint na gcáithníní faoi chlampáil mheicniúil agus rothaíocht leictreastatach, ag cosaint próisis nód fo -10nm ó éilliú lochtanna marú. I gcás imoibreoirí ICP ardchumhachta, cuireann friotaíocht íseal leictreach an iompróra (<40µω · m) cobhsú tapa RF ar an talamh chun cinn, ag íoslaghdú luaineachtaí voltais sheath ar féidir leo próifílí fótagrafaíochta a ídiú nó micrea -mhaolú a spreagadh.

Déantar méadreolaíocht chuimsitheach ar gach baisc d'iompróirí Semicorex - mapáil Raman chun ailíniú crystallographic graifíte a fhíorú, trasghearradh SEM chun sláine ciseal SIC a dheimhniú, agus anailís iarmharach GAS chun tairseacha eisíonta leibhéal PPM a dheimhniú. Toisc go seasann muid ar tháirgeadh micrea -loit (níos lú ná 20 píosa in aghaidh an rith), fanann cairteacha rialaithe próisis staitistiúla thar a bheith daingean, rud a ligeann dúinn in -in -ath -inghlacthacht a ráthú nach féidir le soláthróirí maise a mheaitseáil. Tá geoiméadrachtaí saincheaptha, doimhneachtaí póca agus bealaí fuaraithe ar fáil le hamanna luaidhe chomh gearr le trí seachtaine, ag cumhachtú Trealamh OEMs agus Fabs ard -Mix chun oidis an tseomra a bharrfheabhsú gan stacanna crua -earraí iomlána a athdhearadh.

Trí ghraifít anisotrópach aicme domhanda a aontú le armúr Sic Hermetic, soláthraíonn an t -iompróir SIC SEMICOREX le haghaidh ICP fabs le hardán fad -éillithe agus teirmeach aonfhoirmeach aonfhoirmeach - ní hamháin go seasann sé leis na timpeallachtaí plasma is géire, ach go gníomhach, ach go gcuireann sé feidhmíocht spéisiúla agus trí dhie -leibhéal. Maidir le monaróirí feiste atá ag iarraidh i dtreo línelíne níos déine, próifílí níos géire agus costas úinéireachta níos ísle, is é an t -iompróir rogha ina bhfuil gach micron, gach sliseog agus gach uair an chloig de chomhaireamh ama.