Is comhpháirt ríthábhachtach é sprioc planar sileacain mhonacrystalline ó Semicorex sa tionscal déantúsaíochta leathsheoltóra ceannródaíoch. Déantar é a mhonarú le hábhar sileacain mhonacriostalach den scoth, agus tá struchtúr criostail an-ordaithe aige agus íonacht iontach. Déanann na hairíonna seo réiteach idéalach chun scannáin leathsheoltóra iontaofa ardfheidhmíochta agus scannáin optúla a mhonarú.
Sileacan monacrystallineis gnách go ndéantar sprioc pleanr a phróiseáil trí threalamh gearrtha ardchruinneas ó thinní sileacain mhonacriostalach arna ndéanamh ag modh Czochralski. Chun freastal ar éagsúlú riachtanais an chustaiméara, is féidir sprioc pleanr sileacain mhonacrystalline a ghearradh i cruthanna atá ag teastáil do do chustaiméirí a bhfuil meas orthu. Cinntíonn an teicneolaíocht phróiseála meilt agus snasta beacht maoile dromchla iontach an ábhair sprice, rud a thugann ráthaíocht láidir maidir le taisceadh scannán tanaí.
Cuirtear sprioc planar sileacain mhonacriostalach laistigh i seomra imoibrithe folúis mar aon leis an tsubstráit atá le bratú le linn an phróisis sil-leagan scannáin. Nuair a bhuaileann iain ardfhuinnimh an sprioc planar sileacain mhonacriostalach, déantar adaimh sileacain ar a dhromchla a sputtered. Ansin aistríonn na hadaimh sileacain sputtered seo agus cuireann siad isteach ar dhromchla an tsubstráit, ag cruthú scannán tanaí sileacain ar deireadh thiar.
Feidhmíonn sprioc planar sileacain mhonacrystalline mar fhoinse ábhair le haghaidh sil-scannán tanaí. Eascraíonn na hadaimh sileacain go léir a thaisctear ar an dromchla sliseog ó spriocanna plánacha sileacain mhonacriostailíneacha. Dá bhrí sin, déanann cáilíocht an sprice sileacain monocrystalline pleanr a chinneadh go díreach íonacht, aonfhoirmeacht agus príomh-airíonna eile an scannáin tanaí taiscthe.
De bharr an tréith íonachta sármhaith tá an sprioc pleanr sileacain mhonacrystalline leis an gcumas chun neamhíonachtaí a chosc ó éilliú a dhéanamh ar an scannán tanaí. Feabhsaíonn sé seo go mór feidhmíocht leictreach feistí leathsheoltóra. Baineann feabhas ar aonfhoirmeacht agus greamaitheacht na scannán tanaí leas as a struchtúr criostail an-ordaithe, rud a chuireann ar chumas na gcáithníní sputtering dul ar imirce agus a thaisceadh ar an dromchla wafer níos rialta. Tá dearadh an struchtúir phleanach oiriúnach do riachtanais sputtering limistéir mhóra agus ardluais, agus tá sé infheidhme maidir le cásanna táirgthe ar scála mór, mar shampla sliseog leathsheoltóra agus painéil taispeána.