Is uirlis speisialaithe é Susceptor Graifíte Brataithe Semicorex CVD SiC a úsáidtear i láimhseáil agus próiseáil sliseog leathsheoltóra. Tá ról ríthábhachtach ag an susceptor maidir le fás scannáin tanaí, sraitheanna epitaxial, agus bratuithe eile ar fhoshraitheanna a éascú le rialú beacht ar theocht agus airíonna ábhair. Tá Semicorex tiomanta do tháirgí ardchaighdeáin a sholáthar ar phraghsanna iomaíocha, táimid ag tnúth le bheith i do chomhpháirtí fadtéarmach sa tSín.
Comhpháirt a ndearnadh innealtóireacht chúramach air is ea an súdóir graifíte atá brataithe le CVD SiC atá deartha chun an timpeallacht theirmeach is fearr a chruthú chun scannáin agus bratuithe tanaí a leagan faoi smacht ar sliseoga leathsheoltóra nó ar ábhair fhoshraitheanna eile. Is gné ríthábhachtach é laistigh d'imoibreoir CVD, ag feidhmiú mar fhoinse teasa agus mar ardán chun na foshraitheanna a shealbhú agus a shuíomh le linn an phróisis sil-leagan.
Buntáistí:
Taispeántas Beacht: Cumasaíonn an súdóir graifíte atá brataithe le CVD SiC sil-leagan rialaithe agus beacht scannán tanaí agus bratuithe, as a dtagann torthaí ardcháilíochta agus in-atáirgthe.
Éilliú Laghdaithe: Laghdaíonn an sciath SiC an baol éillithe ón susceptor féin, rud a chinntíonn íonacht na n-ábhar taiscthe.
Fad saoil agus Marthanacht: Cuireann an sciath SiC friotaíocht an susceptor in aghaidh ocsaídiúcháin agus imoibrithe ceimiceacha, ag cur lena fad saoil agus lena iontaofacht thar úsáid leathnaithe.