6 "sealbhóirí sliseog

Semicorex 6 "Déantar innealtóirí sliseog a innealtóireacht go sonrach chun freastal ar riachtanais éilitheacha próisis fáis eipidéimeacha SIC (sileacain) atá deartha le húsáid i dtimpeallachtaí ardteochta, imoibríocha go ceimiceach, soláthraíonn na sealbhóirí seo cobhsaíocht mheicniúil níos fearr, aonfhoirmeacht teirmeach, agus iontaofacht phróisis, rud a fhágann gur comhpháirt riachtanach iad le haghaidh eipidíteas ard-sic.

Le linn an phróisis mhonaraithe sliseog, ní mór do roinnt foshraitheanna sliseog sraitheanna eipideacha a thógáil tuilleadh chun monarú feistí a éascú. I measc na samplaí tipiciúla tá feistí astaithe solais LED, a éilíonn go n-ullmhófaí sraitheanna epitaxial GaAs ar fhoshraitheanna sileacain; Fástar sraitheanna epitaxial SIC ar fhoshraitheanna seoltaí SiC chun feistí a thógáil mar SBDanna agus MOSFETanna le haghaidh feidhmchlár ardvoltais, ard reatha agus eile; Tógtar sraitheanna epitaxial GAN ar fhoshraitheanna leath-inslithe SIC chun HEMT agus feistí eile le haghaidh cumarsáide agus feidhmchláir eile minicíochta raidió a thógáil. Tá an próiseas seo doscartha ó threalamh CVD.

I dtrealamh CVD, ní féidir an tsubstráit a chur go díreach ar mhiotal nó ar bhonn le haghaidh sil -leagain eipiciúil, toisc go mbaineann sé le tosca éagsúla amhail treo sreafa gáis (cothrománach, ingearach), teocht, brú, socrú, agus ábhar salaithe ag titim. Dá bhrí sin, tá gá le bonn, agus ansin cuirtear an tsubstráit ar thráidire, agus ansin déantar sil -leagan eipiciúil ar an tsubstráit ag baint úsáide as teicneolaíocht CVD. Is é an bonn seo aSic-brataitheBonn graifíte (6 "sealbhóir sliseog).

Déantar na 6 "sealbhóir sliseog" a uasmhéadú le haghaidh bainistíochta teirmeach den scoth, ag cinntiú dáileadh teasa aonfhoirmeach ar fud dhromchla an tsleasa. Mar thoradh air seo tá aonfhoirmeacht feabhsaithe ciseal, dlús lochtanna, agus toradh foriomlán feabhsaithe le linn fás eipiciúil SIC. Freastalaíonn an dearadh ar chlampáil bheacht agus ailíniú beacht ar cháilíocht na bhfleasc, a íoslaghdú agus strus meicniúil a fhéadann cáilíocht an fheiste deiridh a íoslaghdú.

Cibé an bhfuil tú ag déanamh taighde agus forbartha nó táirgeadh ar scála iomlán de ghléasanna cumhachta SIC-bhunaithe, soláthraíonn ár 6 shealbhóir sliseog an fheidhmíocht agus an iontaofacht láidir a theastaíonn chun éifeachtúlacht do phróisis a uasmhéadú.